Grafitbärare för PECVD-process

Kort beskrivning:

VET EnergiPECVD Graphite Boat for Solar Panel är en avancerad komponent designad speciellt för produktion av högpresterande solpaneler. Används i PECVD-processer (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), säkerställer denna grafitbåt optimal materialhantering och enhetlig avsättning av tunna filmer på solceller. Konstruerad för precision och hållbarhet, ger den överlägsen värmeledningsförmåga, hög korrosionsbeständighet och minimal kontaminering, vilket är avgörande för produktion av effektiva, högkvalitativa solpaneler.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktdetaljer

Produkttaggar

VET EnergiPECVD-processgrafitbärare är en högkvalitativ förbrukningsvara som är skräddarsydd för PECVD-processen (plasmaförstärkt kemisk ångavsättning). Denna grafitbärare är gjord av högrenhet, högdensitetsgrafitmaterial, med utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper, kan ge en stabil bärarplattform för PECVD-process, för att säkerställa enhetlighet och planhet hos tunn film deposition.

Grafitbärare för PECVD-process har följande egenskaper:

▪ Hög renhet: extremt låg föroreningshalt, undviker kontaminering av filmen och säkerställer filmkvalitet.

▪ Hög densitet: hög densitet, hög mekanisk hållfasthet, kan motstå PECVD-miljö med hög temperatur och högt tryck.

▪ Bra dimensionsstabilitet: liten dimensionsförändring vid hög temperatur, vilket säkerställer processstabilitet.

▪ Utmärkt värmeledningsförmåga: överför effektivt värme för att förhindra överhettning av wafer.

▪ Stark korrosionsbeständighet: kan motstå erosion av olika korrosiva gaser och plasma.

▪ Anpassad service: grafitbärare i olika storlekar och former kan anpassas efter kundens behov.

Grafitmaterial från SGL:

Typisk parameter: R6510
Index	Teststandard	Värde	Enhet
Genomsnittlig kornstorlek	ISO 13320	10	μm
Bulkdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Öppen porositet	DIN66133	10	%
Medelstor porstorlek	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hårdhet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Böjhållfasthet	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tryckhållfasthet	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk expansion (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Värmeledningsförmåga (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den är speciellt designad för högeffektiv solcellstillverkning och stöder bearbetning av stora G12-skivor. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.

Punkt	Typ	Nummer waferbärare
PEVCD Grephite-båt - 156-serien	156-13 grepitbåt	144
	156-19 grepitbåt	216
	156-21 grepitbåt	240
	156-23 grafitbåt	308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien	125-15 grephitbåt	196
	125-19 grepitbåt	252
	125-21 grphitbåt	280