DeCVD TaC belagdPlate Susceptor från vet-kina är konstruerad för högpresterande i processer för kemisk ångavsättning (CVD). Denna susceptor har en robustTaC (Tantalum Carbide) beläggning, som erbjuder exceptionell termisk stabilitet, kemisk beständighet och hållbarhet, vilket gör den till en idealisk lösning för halvledartillverkning och högtemperaturapplikationer. DeCVD TaC-beläggningsäkerställer utmärkt motståndskraft mot oxidation och slitage, vilket gör att susceptorn kan behålla sin integritet och funktion i tuffa miljöer.
veterinär i KinaCVD TaC belagdPlate Susceptor utmärker sig för sin förmåga att jämnt fördela värme under CVD-processer, vilket säkerställer exakt skiktavsättning och förbättrar effektiviteten av halvledartillverkning. Ta-C-beläggningen ger ytterligare skydd mot kemisk korrosion, förlänger susceptorns livslängd och förbättrar den övergripande prestandan. Med en kombination av avancerad CVD-susceptorteknologi och högkvalitativa TaC-kemiska beläggningar är denna susceptor en nyckelkomponent för industrier som kräver precision och tillförlitlighet i högtemperaturmiljöer.
Oavsett om det används i produktionen av halvledare eller andra högteknologiska applikationerCVD TaC-belagd plåtsusceptorär designad för att möta kraven från modern tillverkning. Uppbackad av Semiceras rykte för innovation och kvalitet, erbjuder denna produkt överlägsen prestanda och långvarig hållbarhet, vilket gör den till ett pålitligt val för CVD-processer.
TaC-beläggning är en slags tantalkarbid (TaC) beläggning framställd av fysisk ångavsättningsteknik, den har följande egenskaper:
1. Hög hårdhet: TaC-beläggningens hårdhet är hög, kan vanligtvis nå 2500-3000HV, är en utmärkt hård beläggning.
2. Slitstyrka: TaC-beläggning är mycket slitstark, vilket effektivt kan minska slitage och skador på mekaniska delar under användning.
3. Bra högtemperaturbeständighet: TaC-beläggning kan också bibehålla sin utmärkta prestanda under högtemperaturmiljö.
4. Bra kemisk stabilitet: TaC-beläggning har god kemisk stabilitet och kan motstå många kemiska reaktioner, såsom syror och baser.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiska egenskaper hos TaC beläggning | |
| 密度/ Densitet | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Specifik emissivitet | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansionskoefficient | 6,3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hårdhet (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Motstånd | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termisk stabilitet | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Grafitstorlek ändras | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Beläggningstjocklek | ≥20um typiskt värde (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag med fokus på produktion och försäljning av avancerade avancerade material, material och teknik som täcker grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling och så vidare. Produkterna används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!
