Wafer susceptor med TaC-beläggning för G5 G10

Kort beskrivning:

Semicera leder halvledarindustrin med en innovativ linje av tantalkarbidprodukter (TaC) för att möta de ständigt skärpta kraven på halvledarprocesser.Oavsett om de möter epitaxiella processtemperaturer som överstiger 2000 grader Celsius eller sublimeringsproblem med traditionella material, ger vår CvD tantalkarbid (TaC) en pålitlig lösning.Våra produkter tål extrema temperaturer upp till 2300 grader Celsius och ger utmärkt livslängd.Genom att kontakta Semicera kan du lära dig mer om våra avancerade lösningar, inklusive skräddarsydda alternativ för tantalkarbidbelagda täckplåtar.Vi är fast beslutna att tillhandahålla tillförlitligt skydd och utmärkt prestanda för din halvledarprocess för att hjälpa dig att lyckas på den mycket konkurrensutsatta marknaden.


Produktdetalj

Produkttaggar

TaC-beläggning är en slags tantalkarbid (TaC) beläggning framställd av fysisk ångavsättningsteknik, den har följande egenskaper:

1. Hög hårdhet: TaC-beläggningens hårdhet är hög, kan vanligtvis nå 2500-3000HV, är en utmärkt hård beläggning.

2. Slitstyrka: TaC-beläggning är mycket slitstark, vilket effektivt kan minska slitage och skador på mekaniska delar under användning.

3. Bra högtemperaturbeständighet: TaC-beläggning kan också bibehålla sin utmärkta prestanda under högtemperaturmiljö.

4. Bra kemisk stabilitet: TaC-beläggning har god kemisk stabilitet och kan motstå många kemiska reaktioner, såsom syror och baser.

TaC-beläggning16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysiska egenskaper hos TaC beläggning

密度/ Densitet

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Specifik emissivitet

0,3

热膨胀系数 / Termisk expansionskoefficient

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Hårdhet (HK)

2000 HK

电阻 / Motstånd

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termisk stabilitet

<2500℃

石墨尺寸变化 / Grafitstorlek ändras

-10~-20um

涂层厚度 / Beläggningstjocklek

≥20um typiskt värde (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag med fokus på produktion och försäljning av avancerade avancerade material, material och teknik som täcker grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling och så vidare.Produkterna används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi, etc.

Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!