Korrosionsbeständig kiselkarbidbelagd bärbricka

Kort beskrivning:

VET Energy Silicon Carbide Coated Carrier Tray är en högpresterande produkt designad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period. Den har superbra värmebeständighet och termisk enhetlighet, hög renhet, erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.

 

 

 


Produktdetaljer

Produkttaggar

SiC-induktorer1
SiC-induktorer2

Silikonkarbidhållareis a nyckelkomponent som används i olika halvledartillverkningsprocesser.Vi använder vår patenterade teknologi för att göra kiselkarbidbäraren medextremt hög renhet,brabeläggningenhetlighetoch en utmärkt livslängd, liksomhög kemisk beständighet och termiska stabilitetsegenskaper.

VET Energy är deverklig tillverkare av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikakundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Our tekniska team kommer från topp inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningarför dig.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material,ochhar utarbetat en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

Fegenskaper hos våra produkter:

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700.
2. Hög renhet ochtermisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitet

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhet

2500 维氏硬度(500g last)

晶粒大小 / kornstorlek

2~10μm

纯度 / Kemisk renhet

99,99995 %

热容 / Värmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt böj, 1300℃

导热系数 / ThermalLedningsförmåga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!