Tantalkarbidbelagd susceptor för wafer

Kort beskrivning:

Semicera är ledande inom högtemperaturmaterialskyddsteknologi och vi är stolta över att introducera CVD Tantalum Carbide (TaC) beläggningsprodukter för att ge tillförlitligt högtemperaturskydd för dina grafitsubstrat.Grafit är ett utmärkt högtemperaturbeständigt material, men det är benäget att oxidera vid höga temperaturer, vilket inte helt kan undvikas även i en vakuumugn.Vår CVD Tantalum Carbide (TaC) beläggning kan effektivt förhindra oxidation av grafitsubstratet samtidigt som dess utmärkta högtemperaturprestanda bibehålls.TaC är också ett inert material som kan motstå reaktioner med gaser som argon och väte.Konsultera Semicera idag för att lära dig mer om våra tantalkarbid CVD-belagda EPI-susceptorer för att säkerställa stabiliteten och tillförlitligheten hos dina högtemperaturapplikationer.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktdetalj

Produkttaggar

TaC-beläggning är en slags tantalkarbid (TaC) beläggning framställd av fysisk ångavsättningsteknik, den har följande egenskaper:

1. Hög hårdhet: TaC-beläggningens hårdhet är hög, kan vanligtvis nå 2500-3000HV, är en utmärkt hård beläggning.

2. Slitstyrka: TaC-beläggning är mycket slitstark, vilket effektivt kan minska slitage och skador på mekaniska delar under användning.

3. Bra högtemperaturbeständighet: TaC-beläggning kan också bibehålla sin utmärkta prestanda under högtemperaturmiljö.

4. Bra kemisk stabilitet: TaC-beläggning har god kemisk stabilitet och kan motstå många kemiska reaktioner, såsom syror och baser.

Tantalkarbid CVD-beläggning EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiska egenskaper hos TaC beläggning
密度/ Densitet	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Specifik emissivitet	0,3
热膨胀系数 / Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Hårdhet (HK)	2000 HK
电阻 / Motstånd	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Termisk stabilitet	<2500℃
石墨尺寸变化 / Grafitstorlek ändras	-10~-20um
涂层厚度 / Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag med fokus på produktion och försäljning av avancerade avancerade material, material och teknik som täcker grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling och så vidare.Produkterna används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi, etc.

Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!