Wafer warpage, chii chekuita?

Mune imwe nzira yekurongedza, kurongedza zvinhu zvine akasiyana ekuwedzera kupisa coefficients anoshandiswa. Munguva yekurongedza, wafer inoiswa pane yekurongedza substrate, uyezve kupisa uye kutonhora matanho anoitwa kuti apedze kurongedza. Nekudaro, nekuda kwekusawirirana pakati peyekupisa yekuwedzera coefficient yemidziyo yekurongedza newafer, kushushikana kwekupisa kunoita kuti wafer iwande. Huya utarise nemupepeti ~

Chii chinonzi wafer warpage?

Waferwarpage inoreva kukotama kana kumonyoroka kwewafer panguva yekurongedza.Waferwarpage inogona kukonzera kutsauka kwekugadzirisa, matambudziko ekushongedza uye kuderedzwa kwechishandiso panguva yekurongedza.

Yakaderedzwa kurongeka kwepakeji:Waferwarpage inogona kukonzera kutsauka kwekugadzirisa panguva yekurongedza. Kana iyo wafer inokanganisa panguva yekurongedza, kurongeka pakati pechip uye mudziyo wakapetwa unogona kukanganiswa, zvichikonzera kusakwanisa kunyatso kurongeka mapini ekubatanidza kana majoini ekutengesa. Izvi zvinodzikisira iko kurongedza uye zvinogona kukonzera kusagadzikana kana kusavimbika kwechishandiso kuita.

Kuwedzera mechanical stress:Waferwarpage inosuma imwe mechanical stress. Nekuda kweiyo deformation yewafer pachayo, iyo mechanical stress inoshandiswa panguva yekurongedza inogona kuwedzera. Izvi zvinogona kukonzera kushushikana mupfungwa mukati mewafer, kukanganisa zvinhu uye chimiro chechishandiso, uye kunyange kukonzera kukuvara kwemukati wewafer kana kutadza kwemudziyo. 

Performance degradation:Wafer warpage inogona kukonzera kukanganisa kwechishandiso. Izvo zvikamu uye dhizaini dhizaini pane wafer zvakagadzirirwa zvichibva pane yakati sandara. Kana iyo wafer warps, inogona kukanganisa kubatana kwemagetsi, kutapurirana kwechiratidzo uye kutonga kwekupisa pakati pemidziyo. Izvi zvinogona kukonzera matambudziko mukuita kwemagetsi, kumhanya, mashandisiro emagetsi kana kuvimbika kwechishandiso.

Welding matambudziko:Wafer warpage inogona kukonzera matambudziko ekushongedza. Munguva yewelding process, kana wafer yakagonya kana kumonyoroka, simba rekugovera panguva yewelding process inogona kunge isina kuenzana, zvichikonzera kushata kwemajoini emasoja kana kutoda kutsemuka kwemajoini. Izvi zvichava nemigumisiro yakaipa pakuvimbika kwepakiti.

Zvikonzero zvewafer warpage

Zvinotevera ndezvimwe zvikonzero zvinogona kukonzerawaferwarpage:

1.Thermal stress:Munguva yekurongedza, nekuda kwekushanduka kwekushisa, zvinhu zvakasiyana pawafer zvichave zvisingaenderane nemafuta ekuwedzera coefficients, zvichikonzera wafer warpage.

2.Material inhomogeneity:Munguva yekugadzira wafer, kugovaniswa zvisina kuenzana kwezvinhu kunogona kukonzera wafer warpage. Semuyenzaniso, zvakasiyana density yezvinhu kana ukobvu munzvimbo dzakasiyana dzewaferi zvinokonzeresa kuti wafer iregeremara.

3.Maitiro parameters:Kudzora kwakashata kwemamwe maparamita ekurongedza, senge tembiricha, humidity, air pressure, nezvimwewo, zvinogonawo kukonzera wafer warpage.

Solution

Mamwe matanho ekudzora wafer warpage:

Process optimization:Deredza njodzi yewafer warpage nekugadzirisa iyo yekurongedza maitiro paramita. Izvi zvinosanganisira kudzora ma parameter akadai setembiricha uye humidity, kudziyisa uye kutonhora mitengo, uye kudzvanywa kwemhepo panguva yekurongedza. Kusarudzwa kunonzwisisika kwemaparamendi ekugadzirisa kunogona kuderedza kukanganisa kwekushushikana kwekupisa uye kuderedza mukana wewafer warpage.

Kurongedza zvinhu kusarudzwa:Sarudza zvinhu zvekurongedza zvakakodzera kuderedza njodzi yewafer warpage. Iyo yekupisa yekuwedzera coefficient yemidziyo yekurongedza inofanirwa kuenderana neiyo yewaferi kuderedza wafer deformation inokonzerwa nekupisa kwekushushikana. Panguva imwecheteyo, zvivakwa zvemuchina uye kugadzikana kwezvinhu zvekurongedza zvinodawo kutariswa kuti ive nechokwadi chekuti wafer warpage dambudziko rinogona kudzikiswa.

Wafer dhizaini uye kugadzira optimization:Munguva yekugadzira uye kugadzirwa kweiyo wafer, mamwe matanho anogona kutorwa kuderedza njodzi yewafer warpage. Izvi zvinosanganisira kukwidziridza kufananidzwa kwekugovera kwezvinhu, kudzora ukobvu uye kupenya kwepamusoro kwechifukidziro, nezvimwewo. Nekunyatso kudzora nzira yekugadzira yewafesi, njodzi yedeformation yewafer pachayo inogona kuderedzwa.

Thermal manejimendi matanho:Munguva yekurongedza, matanho ekupisa anotorwa kudzikisa njodzi yewafer warpage. Izvi zvinosanganisira kushandisa midziyo yekudziisa uye yekutonhodza ine tembiricha yakanaka kufanana, kudzora tembiricha magidhi uye matembiricha ekuchinja kwematembiricha, uye kutora nzira dzekutonhodza dzakakodzera. Kushanda kwemafuta manejimendi kunogona kuderedza kukanganisa kwekupisa kwekushushikana pawafer uye kuderedza mukana wewafer warpage.

Matanho ekuona uye kugadzirisa:Munguva yekurongedza, zvakakosha kuti ugare uchiona uye kugadzirisa wafer warpage. Nekushandisa yakakwirira-chaiyo yekuona michina, senge optical kuyerwa masisitimu kana michina yekuyedza michina, wafer warpage matambudziko anogona kutariswa nekukurumidza uye anowirirana ekugadzirisa matanho anogona kutorwa. Izvi zvinogona kusanganisira kugadzirisa zvakare kurongedza maparamita, kushandura zvinhu zvekurongedza, kana kugadzirisa maitiro ekugadzira wafer.

Izvo zvinofanirwa kucherechedzwa kuti kugadzirisa dambudziko rewafer warpage ibasa rakaoma uye rinogona kuda kutarisisa kwakadzama kwezvinhu zvakawanda uye kudzokorora optimization uye kugadzirisa. Mumashandisirwo chaiwo, mhinduro dzakanangana dzinogona kusiyana zvichienderana nezvinhu zvakaita sematanho ekurongedza, wafer zvinhu, uye zvishandiso. Naizvozvo, zvichienderana nemamiriro chaiwo, matanho akakodzera anogona kusarudzwa uye kutorwa kugadzirisa dambudziko rewafer warpage.