PECVD Graphite Wafer Lagolago

Fa'amatalaga Puupuu:

Fuafuaina mo le sa'o ma le fa'atinoga, VET Energy's Graphite Wafer Support o le mea e sili ona lelei mo le fa'aoga i le fa'agaoioiga o mea'ai, lea e taua tele ai le mautu o le vevela ma le fa'atinoina faifaipea. Pe o e galue ma semiconductor wafers poʻo isi mea maʻaleʻale, o lenei lagolago graphite maualuga o le a faʻaleleia atili ai lau faʻagaioiga faʻalagolago ma le lelei o oloa, ma avea ai ma vaega taua mo le gaosiga faʻaonaponei.

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Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

VET Malosiaga PECVD faagasologa graphite wafer lagolago ose fa'aaogaina autu fuafuaina mo le PECVD (plasma fa'aleleia ausa vaila'au fa'aputuina) faiga. O lenei oloa e faia i le maualuga-mama, maualuga-density graphite mea, ma le maualuga maualuga maualuga tetee, corrosion tetee, tulaga mautu ma isi uiga, e mafai ona maua ai se faavae lagolago mautu mo le faagasologa PECVD, ina ia mautinoa le tutusa ma le mafolafola o deposition ata tifaga.

O le "lagolago graphite" mamanu o le VET Energy graphite wafer lagolago e le gata e mafai ona lagolagoina lelei le wafer, ae maua ai foi le mautu vevela i le maualuga o le vevela ma le maualuga o le siosiomaga PECVD e mautinoa ai le mautu o le faagasologa.

VET Energy PECVD process graphite wafer support e iai uiga nei:

▪maualuga mama:matua maualalo le mama i totonu, aloese mai le faaleagaina o le ata, ia mautinoa le lelei o le ata.

▪Malosi maualuga:maualuga maualuga, malosi faʻainisinia maualuga, e mafai ona tatalia le vevela maualuga ma le maualuga o le siosiomaga PECVD.

▪Lelei itu mautu:suiga laiti i le vevela maualuga ina ia mautinoa le mautu o le faagasologa.

▪Lelei fa'aavevela vevela:fe'avea'i lelei le vevela e puipuia ai le vevela tele.

▪Malosi le pala:E mafai ona tetee atu i le tafia e ala eseese kasa ma plasma.

▪Au'aunaga fa'apitoa:Laupapa lagolago graphite o lapopoa eseese ma foliga e mafai ona faʻavasegaina e tusa ai ma manaʻoga o tagata faʻatau.

Mea kalafi mai le SGL:

Fa'ailoga masani: R6510
Fa'asinomaga	Su'ega tulaga	Taua	Vaega
Ole fua ole fua	ISO 13320	10	μm
Fa'atosina tele	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Matala porosity	DIN66133	10	%
Lapo'a pore feololo	DIN66133	1.8	μm
Talitonu	DIN 51935	0.06	cm²/s
Malosi Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Fa'asao eletise fa'apitoa	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Malosi fa'apa'u	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Malosi fa'amalosi	DIN 51910	130	MPa
Modulus a talavou	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Fa'alautelega vevela(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Amioga vevela (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

O lo'o fa'atulagaina fa'apitoa mo le gaosiga maualuga o le la, e lagolagoina le G12 tele-tele-tele fa'agaoioiga. Fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga va'ava'a e matua fa'atuputeleina le fa'aulufaleina, fa'atupuina ai le maualuga o fua fa'atatau ma fa'aitiitia tau o gaosiga.

Aitema	Ituaiga	Numera wafer ave
PEVCD Grephite vaa - Le 156 faasologa	156-13 vaa grephite	144
	156-19 vaa grephite	216
	156-21 vaa grephite	240
	156-23 vaa kalafi	308
PEVCD Grephite vaa - Le 125 faasologa	125-15 vaa grephite	196
	125-19 vaa grephite	252
	125-21 vaa griphite	280