SIC fa'a'ofuina fa'avevela fa'avevela mo le MOCVD K465i, fa'avevela fa'amalama mo le epitaxy,
Fa'avevela kalafi fa'apipi'i mo MOCVD K465i fa'avevela kalafi fa'avevela fa'avevela mo MOCVD SIC fa'avevela fa'avevela kalafi.,
SIC Coated Graphite Heater mo le MOCVD K465i
O vaega faʻavevela graphite o loʻo faʻaaogaina i totonu o le ogaumu vevela maualuga ma le vevela e oʻo atu i le 2200 tikeri i le vacuum environment ma le 3000 tikeri i le siosiomaga kesi deoxidized ma faʻaofi.
Autu autu o le faʻavevela graphite:
1. tutusa o fausaga faamafanafana.
2. conductivity lelei eletise ma le mamafa eletise maualuga.
3. tete'e corrosion.
4. inoxidizability.
5. mama maualuga kemikolo.
6. malosi faʻainisinia maualuga.
O le lelei o le malosi lelei, maualuga le tau ma maualalo le tausiga.
E mafai ona tatou gaosia le anti-oxidation ma le umi o le ola o le graphite crucible, graphite mold ma vaega uma o le graphite heater.
Fa'ailoga autu ole fa'avevela graphite:
Fa'amatalaga Fa'apitoa | VET-M3 |
To'atele (g/cm3) | ≥1.85 |
Fuafua (PPM) | ≤500 |
Maaa o le matafaga | ≥45 |
Tete'e Fa'apitoa (μ.Ω.m) | ≤12 |
Malosi fa'afoliga (Mpa) | ≥40 |
Malosi fa'amalosi (Mpa) | ≥70 |
Max. Tele o Saito (μm) | ≤43 |
Coefficient o le fa'alauteleina o le vevela Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
O le faʻavevela o le graphite mo le ogaumu eletise o loʻo i ai meatotino o le vevela, faʻamaʻi faʻamaʻiina, lelei eletise eletise ma sili atu le malosi faʻainisinia. E mafai ona matou masini ituaiga eseese o faʻavevela graphite e tusa ai ma mamanu a tagata faʻatau.