Graphite Substrate Wafer Holder mo le PECVD

Fa'amatalaga Puupuu:

O le VET Energy's Graphite Substrate Holder ua fa'ainisinia e fa'atumauina le fa'aogaina ma le mautu i le faagasologa o le PECVD, puipuia mai le fa'aleagaina ma fa'aitiitia le lamatiaga o le fa'aleagaina. O le Graphite Wafer Holder e maua ai se faʻamautu, e oʻo lava i tulaga, faʻamautinoaina o loʻo faʻaalia lelei i le plasma mo le faʻatumauina ma le maualuga le lelei. Faatasi ai ma le maualuga o le vevela ma le malosi faʻapitoa, e fesoasoani lenei mea e faʻaleleia atili ai le lelei o le faagasologa ma le faʻatinoga o oloa.

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Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder ose fa'amomoli sa'o ua fuafuaina mo le fa'agasologa o le PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). O lenei tulaga maualuga o le Graphite Substrate Holder e faia i le maualuga-mama, maualuga-density graphite material, faʻatasi ai ma le maualuga maualuga o le vevela, faʻafefete, faʻamautu tulaga ma isi uiga. E mafai ona tuʻuina atu se faʻavae lagolago mautu mo le faʻagasologa o le PECVD ma faʻamautinoa le tutusa ma le laugatasi o le faʻapipiʻiina o ata.

VET Energy PECVD process graphite wafer support table ei ai uiga nei:

▪maualuga mama:matua maualalo le mama i totonu, aloese mai le faaleagaina o ata tifaga, mautinoa le lelei o ata.

▪Malosi maualuga:maualuga maualuga, malosi faʻainisinia maualuga, e mafai ona tatalia le vevela maualuga ma le maualuga o le siosiomaga PECVD.

▪Lelei itu mautu:suiga laititi i le vevela maualuga, faʻamautinoa le mautu o le faagasologa.

▪Lelei fa'aavevela vevela:fe'avea'i lelei le vevela e puipuia ai le vevela tele.

▪Malosi le pala:e mafai ona tetee i le tafia e ala eseese kasa ma plasma.

▪Au'aunaga fa'apitoa:laulau lagolago graphite o lapopoa eseese ma foliga e mafai ona customized e tusa ai ma manaoga o tagata faatau.

Tulaga Lelei

▪Fa'aleleia le lelei o ata:Fa'amautinoa le tu'u tutusa o ata tifaga ma fa'aleleia le lelei o ata.

▪Fa'ateleina le ola o meafaigaluega:E sili atu le teteʻe o le corrosion, faʻalautele le ola tautua o meafaigaluega PECVD.

▪Fa'aitiitia tau o gaosiga:O fata graphite sili ona lelei e mafai ona faʻaititia ai le tau o meaʻai ma faʻaititia le tau o gaosiga.

Mea kalafi mai le SGL:

Fa'ailoga masani: R6510
Fa'asinomaga	Su'ega tulaga	Taua	Vaega
Ole fua ole fua	ISO 13320	10	μm
Fa'atosina tele	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Matala porosity	DIN66133	10	%
Lapo'a pore feololo	DIN66133	1.8	μm
Talitonu	DIN 51935	0.06	cm²/s
Malosi Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Fa'asao eletise fa'apitoa	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Malosi fa'apa'u	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Malosi fa'amalosi	DIN 51910	130	MPa
Modulus a talavou	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Fa'alautelega vevela(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Amioga vevela (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

O lo'o fa'atulagaina fa'apitoa mo le gaosiga maualuga o le la, e lagolagoina le G12 tele-tele-tele fa'agaoioiga. Fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga va'ava'a e matua fa'atuputeleina le fa'aulufaleina, fa'atupuina ai le maualuga o fua fa'atatau ma fa'aitiitia tau o gaosiga.

Aitema	Ituaiga	Numera wafer ave
PEVCD Grephite vaa - Le 156 faasologa	156-13 vaa grephite	144
	156-19 vaa grephite	216
	156-21 vaa grephite	240
	156-23 vaa kalafi	308
PEVCD Grephite vaa - Le 125 faasologa	125-15 vaa grephite	196
	125-19 vaa grephite	252
	125-21 vaa griphite	280