Foe fa'alava o le SiC maualuga mo le fa'agaioiina o le Wafer

Fa'amatalaga Puupuu:

O le Advanced SiC Cantilever Paddle mo Wafer Processing na fa'alauiloaina e le vet-china e fa'aogaina mea fa'atekonolosi SiC e fa'aleleia atili ai le lelei ma le sa'o o le fa'againa o wafer. O le foe fa'alava a le Vet-china e fa'aalia lelei le fa'afefe o le vevela ma le pala, fa'amautinoa le mautu o le fa'atinoina o le fa'atinoina o le fa'agaioiga i totonu o si'osi'omaga o le gaosiga, ma avea ai ma filifiliga lelei mo le fa'aleleia atili o fua o le gaosiga.


Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

O le AdvancedSiC Cantilever Foemo Wafer Processing na faia e vet-china e maua ai se fofo sili ona lelei mo le gaosiga o semiconductor. O lenei foe cantilever e faia i mea SiC (silicon carbide), ma o lona maaa maualuga ma le vevela e mafai ai ona faatumauina le lelei tele i le maualuga o le vevela ma siosiomaga pala. O le mamanu o le Cantilever Paddle e mafai ai ona faʻalagolago le lagolagoina o le wafer i le taimi o gaioiga, faʻaitiitia ai le lamatiaga o le vaevaega ma le faʻaleagaina.

SiC Cantilever Foeo se vaega faʻapitoa o loʻo faʻaaogaina i masini gaosiga semiconductor e pei o le ogaumu faʻamaʻi, faʻafefete faʻasalalau, ma le ogaumu faʻafefe, o le faʻaoga autu e mo le faʻapipiʻiina ma le laʻuina o mea, lagolago ma felauaiga wafers i le taimi o le maualuga o le vevela.

Fauga masanioSiCcantileverpaddle: o se fausaga fa'alava, fa'amau i le tasi pito ae sa'oloto i le isi, e masani ona i ai se mamanu mafolafola ma pei o le foe.

VET Malosiaga fa'aaoga mea mama silicon carbide carbide e fa'amautu lelei.

Mea fa'aletino o le Silicon Carbide ua toe fa'akrista

Meatotino

Taua masani

vevela galue (°C)

1600°C (faatasi ai ma le okesene), 1700°C (faaitiitia le siosiomaga)

SiC anotusi

> 99.96%

Free Si anotusi

< 0.1%

Fa'atosina tele

2.60-2.70 g/cm3

E aliali mai le porosity

<16%

Malosi fa'amalosi

> 600MPa

Malosi punou malulu

80-90 MPa (20°C)

Malosi o le punou vevela

90-100 MPa (1400°C)

Fa'ateleina le vevela @1500°C

4.70 10-6/°C

Fa'avevela vevela @1200°C

23W/m•K

Fa'aula'i fa'alava

240 GPa

Tete'e te'i vevela

Lelei tele

O tulaga lelei ole VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle mo Wafer Processing o:

- Maualuluga o le vevela: faʻaaogaina i siosiomaga i luga atu o le 1600 ° C;

-O le fa'alauteleina o le vevela maualalo: fa'atumauina le tulaga mautu, fa'aitiitia le lamatiaga o le warpage;

-Mamaa maualuga: maualalo le lamatiaga o le faʻaleagaina o uʻamea;

-Kemisi le inertness: corrosion-tetefe, talafeagai mo siosiomaga kesi eseese;

- Malosi maualuga ma le maaa: Laei-tetee, umi auaunaga ola;

- Lelei faʻafefete faʻafefe: fesoasoani i le faʻavevela faʻamafanafana toniga.

Foe fa'alava10
Foe fa'alava16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

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