O le AdvancedSiC Cantilever Foemo Wafer Processing na faia e vet-china e maua ai se fofo sili ona lelei mo le gaosiga o semiconductor. O lenei foe cantilever e faia i mea SiC (silicon carbide), ma o lona maaa maualuga ma le vevela e mafai ai ona faatumauina le lelei tele i le maualuga o le vevela ma siosiomaga pala. O le mamanu o le Cantilever Paddle e mafai ai ona faʻalagolago le lagolagoina o le wafer i le taimi o gaioiga, faʻaitiitia ai le lamatiaga o le vaevaega ma le faʻaleagaina.
SiC Cantilever Foeo se vaega faʻapitoa o loʻo faʻaaogaina i masini gaosiga semiconductor e pei o le ogaumu faʻamaʻi, faʻafefete faʻasalalau, ma le ogaumu faʻafefe, o le faʻaoga autu e mo le faʻapipiʻiina ma le laʻuina o mea, lagolago ma felauaiga wafers i le taimi o le maualuga o le vevela.
Fauga masanioSiCcantileverpaddle: o se fausaga fa'alava, fa'amau i le tasi pito ae sa'oloto i le isi, e masani ona i ai se mamanu mafolafola ma pei o le foe.
VET Malosiaga fa'aaoga mea mama silicon carbide carbide e fa'amautu lelei.
Mea fa'aletino o le Silicon Carbide ua toe fa'akrista | |
Meatotino | Taua masani |
vevela galue (°C) | 1600°C (faatasi ai ma le okesene), 1700°C (faaitiitia le siosiomaga) |
SiC anotusi | > 99.96% |
Free Si anotusi | < 0.1% |
Fa'atosina tele | 2.60-2.70 g/cm3 |
E aliali mai le porosity | <16% |
Malosi fa'amalosi | > 600MPa |
Malosi punou malulu | 80-90 MPa (20°C) |
Malosi o le punou vevela | 90-100 MPa (1400°C) |
Fa'ateleina le vevela @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Fa'avevela vevela @1200°C | 23W/m•K |
Fa'aula'i fa'alava | 240 GPa |
Tete'e te'i vevela | Lelei tele |
O tulaga lelei ole VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle mo Wafer Processing o:
- Maualuluga o le vevela: faʻaaogaina i siosiomaga i luga atu o le 1600 ° C;
-O le fa'alauteleina o le vevela maualalo: fa'atumauina le tulaga mautu, fa'aitiitia le lamatiaga o le warpage;
-Mamaa maualuga: maualalo le lamatiaga o le faʻaleagaina o uʻamea;
-Kemisi le inertness: corrosion-tetefe, talafeagai mo siosiomaga kesi eseese;
- Malosi maualuga ma le maaa: Laei-tetee, umi auaunaga ola;
- Lelei faʻafefete faʻafefe: fesoasoani i le faʻavevela faʻamafanafana toniga.