Grafitna plošča in pokrov s prevleko iz silicijevega karbida

Kratek opis:

Grafitna plošča in pokrov s prevleko iz silicijevega karbida VET Energy sta visoko zmogljiv izdelek, zasnovan tako, da zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje v daljšem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost, odpornost proti eroziji, zaradi česar je odlična rešitev za obdelavo rezin.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

VET EnergyGrafitni pladenj s prevleko iz silicijevega karbida, Plate in Cover je zasnovan za zagotavljanje vrhunske zmogljivosti, ki zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje v daljši uporabi, zaradi česar je bistvena izbira za aplikacije za obdelavo rezin v industriji polprevodnikov. Ta visoko zmogljivGrafitna plošča s prevleko iz silicijevega karbidaponaša se z izjemno toplotno odpornostjo, vrhunsko toplotno enakomernostjo in izjemno kemično stabilnostjo, zlasti v pogojih visokih temperatur. Njegova konstrukcija visoke čistosti, skupaj z napredno odpornostjo proti eroziji, ga naredi nepogrešljivega v zahtevnih okoljih, kot je npr.MOCVD susceptorji.

7

Ključne značilnosti grafitnega pladnja, plošče in pokrova s ​​prevleko iz silicijevega karbida

1. Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah:Zdrži temperature do 1700 ℃, kar mu omogoča zanesljivo delovanje v ekstremnih pogojih.

2. Visoka čistost in toplotna enotnost:Dosledna visoka čistost in enakomerna porazdelitev toplote sta ključnega pomena za aplikacije MOCVD.

3. Izjemna odpornost proti koroziji:Odporen na kisline, alkalije, soli in različne organske reagente, kar zagotavlja dolgotrajno stabilnost v različnih okoljih.

4. Visoka trdota in kompaktna površina:Ima gosto površino z drobnimi delci, ki izboljšujejo splošno vzdržljivost in odpornost proti obrabi.

5. Podaljšana življenjska doba:Zasnovano za dolgo življenjsko dobo, boljše od običajnihgrafitni prijemalniki, prevlečeni s silicijevim karbidomv težkih okoljih obdelave polprevodnikov.

 

KVB SiC薄膜基本物理性能

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje

性质 / Lastnina

典型数值 / Tipična vrednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111) 取向

密度 / Gostota

3,21 g/cm³

硬度 / Trdota

2500 维氏硬度(500g obremenitev)

晶粒大小 / Velikost zrna

2~10 μm

纯度 / Kemijska čistost

99,99995 %

热容 / Toplotna zmogljivost

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700 ℃

抗弯强度 / Upogibna trdnost

415 MPa RT 4-točkovno

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃

导热系数 / TermalPrevodnost

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

Strokovno znanje in izkušnje podjetja VET Energy na področju rešitev za grafit in silicijev karbid po meri

Kot zaupanja vreden proizvajalec je VET Energy specializiran za po meri izdelane grafitne prijemalke in rešitve za prevleke iz silicijevega karbida. Ponujamo vrsto izdelkov, prilagojenih za industrijo polprevodnikov in fotovoltaike, vključno zGrafitne komponente, prevlečene s SiCkot so pladnji, krožniki in pokrovi. Naša linija izdelkov vključuje tudi različne možnosti premazov, kot je nprPrevleka SiC za MOCVD, TaC prevleka, prevleko iz steklenega ogljika, in pirolitično ogljikovo prevleko, ki zagotavlja, da izpolnjujemo različne zahteve visokotehnoloških industrij.

Naša izkušena tehnična ekipa, ki jo sestavljajo strokovnjaki iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov, zagotavlja celovite materialne rešitve za naročnike. Nenehno izpopolnjujemo naše napredne postopke, vključno z ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki izboljšuje vez med prevleko iz silicijevega karbida in grafitno podlago, s čimer zmanjšamo tveganje odstopitve in dodatno podaljšamo življenjsko dobo izdelka.

Aplikacije in prednosti v proizvodnji polprevodnikov

ThePrevleka iz silicijevega karbida za MOCVDzaradi česar so ti grafitni suceptorji zelo učinkoviti v visokotemperaturnih, korozivnih okoljih. Ne glede na to, ali se uporabljajo kot nosilci grafitnih rezin ali druge komponente MOCVD, ti prijemniki, prevlečeni s silicijevim karbidom, izkazujejo vrhunsko vzdržljivost in zmogljivost. Za tiste, ki iščejo zanesljive rešitve vGrafitni suceptor, prevlečen s SiCna trgu ponujajo VET Energy grafitni pladenj, plošča in pokrov, prevlečeni s silicijevim karbidom, robustno in vsestransko možnost, ki izpolnjuje stroge zahteve industrije polprevodnikov.

Z osredotočanjem na napredno znanost o materialih je VET Energy zavezan zagotavljanju visoko zmogljivih grafitnih rešitev, prevlečenih s SiC, ki spodbujajo inovacije v obdelavi polprevodnikov in zagotavljajo zanesljivo delovanje v vseh aplikacijah, povezanih z MOCVD.

1

2

VET Energy je pravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida z različnimi premazi, kot so prevleka SiC, prevleka TaC, prevleka iz steklenega ogljika, prevleka iz pirolitskega ogljika itd., lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih institucij in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in izdelali smo ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k odstopljenju.

Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • Prejšnja:
  • Naprej:

  • Spletni klepet WhatsApp!