4-palčni GaN na SiC rezini

Kratek opis:

VET Energy 4-palčna GaN na SiC rezina je revolucionaren izdelek na področju močnostne elektronike. Ta rezina združuje odlično toplotno prevodnost silicijevega karbida (SiC) z visoko gostoto moči in nizko izgubo galijevega nitrida (GaN), zaradi česar je idealna izbira za izdelavo visokofrekvenčnih in močnih naprav. VET Energy zagotavlja odlično zmogljivost in konsistenco rezine z napredno epitaksialno tehnologijo MOCVD.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Linija izdelkov VET Energy ni omejena na GaN na SiC rezinah. Nudimo tudi široko paleto polprevodniških substratnih materialov, vključno s Si Waferjem, SiC substratom, SOI Waferjem, SiN substratom, Epi Waferjem itd. Poleg tega aktivno razvijamo tudi nove polprevodniške materiale s široko pasovno vrzeljo, kot sta galijev oksid Ga2O3 in AlN Wafer, za izpolnitev povpraševanja industrije močnostne elektronike prihodnosti po zmogljivejših napravah.

VET Energy zagotavlja prilagodljive storitve prilagajanja in lahko prilagodi epitaksialne plasti GaN različnih debelin, različnih vrst dopinga in različnih velikosti rezin glede na posebne potrebe strank. Poleg tega nudimo tudi strokovno tehnično podporo in poprodajne storitve, ki strankam pomagajo hitro razviti visoko zmogljive močnostne elektronske naprave.

第6页-36
第6页-35

SPECIFIKACIJE OBLATOV

*n-Pm=n-tip Pm-razred,n-Ps=n-tip Ps-razred,Sl=polizolacijski

Postavka

8-palčni

6-palčni

4-palčni

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6um

≤6um

Bow(GF3YFCD)-Absolutna vrednost

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Deformacija (GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2 μm

Wafer Edge

Beveliranje

POVRŠINSKA OBRADA

*n-Pm=n-tip Pm-razred,n-Ps=n-tip Ps-razred,Sl=polizolacijski

Postavka

8-palčni

6-palčni

4-palčni

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Površinska obdelava

Dvostransko optično poliranje, Si-Face CMP

Površinska hrapavost

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-obraz Ra≤ 0,5 nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-obraz Ra≤0,5nm

Robni čipi

Ni dovoljeno (dolžina in širina≥0,5 mm)

Zamiki

Ni dovoljeno

Praske (Si-Face)

Kol.≤5,Kumulativno
Dolžina≤0,5×premer rezin

Kol.≤5,Kumulativno
Dolžina≤0,5×premer rezin

Kol.≤5,Kumulativno
Dolžina≤0,5×premer rezin

Razpoke

Ni dovoljeno

Izključitev robov

3 mm

tech_1_2_size
下载 (2)

  • Prejšnja:
  • Naprej:

  • Spletni klepet WhatsApp!