8-palčne silicijeve rezine VET Energy se pogosto uporabljajo v močnostni elektroniki, senzorjih, integriranih vezjih in na drugih področjih. Kot vodilni v industriji polprevodnikov smo zavezani zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov Si Wafer, da bi zadovoljili naraščajoče potrebe naših strank.
Poleg Si Wafer, VET Energy ponuja tudi široko paleto polprevodniških substratnih materialov, vključno s SiC substratom, SOI Wafer, SiN substratom, Epi Wafer itd. Naša linija izdelkov zajema tudi nove polprevodniške materiale s široko pasovno vrzeljo, kot sta galijev oksid Ga2O3 in AlN Wafer, ki zagotavlja močno podporo razvoju močnostnih elektronskih naprav naslednje generacije.
VET Energy ima napredno proizvodno opremo in popoln sistem vodenja kakovosti, ki zagotavlja, da vsaka rezina ustreza strogim industrijskim standardom. Naši izdelki nimajo samo odličnih električnih lastnosti, ampak imajo tudi dobro mehansko trdnost in toplotno stabilnost.
VET Energy strankam zagotavlja prilagojene rešitve za rezine, vključno z rezinami različnih velikosti, vrst in koncentracij dopinga. Poleg tega nudimo tudi strokovno tehnično podporo in poprodajne storitve, ki strankam pomagajo rešiti različne težave, ki nastanejo med proizvodnim procesom.
SPECIFIKACIJE VAFELJEV
*n-Pm=n-tip Pm-Razred,n-Ps=n-tip Ps-Razred,Sl=pol-izolacijski
Postavka | 8-palčni | 6-palčni | 4-palčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Absolutna vrednost | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Deformacija (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2 μm | ||||
Wafer Edge | Beveliranje |
POVRŠINSKA OBRADA
*n-Pm=n-tip Pm-Razred,n-Ps=n-tip Ps-Razred,Sl=pol-izolacijski
Postavka | 8-palčni | 6-palčni | 4-palčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Površinska obdelava | Dvostransko optično poliranje, Si-Face CMP | ||||
Površinska hrapavost | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Robni čipi | Ni dovoljeno (dolžina in širina≥0,5 mm) | ||||
Zamiki | Ni dovoljeno | ||||
Praske (Si-Face) | Količina≤5,Kumulativno | Količina≤5,Kumulativno | Količina≤5,Kumulativno | ||
Razpoke | Ni dovoljeno | ||||
Izključitev robov | 3 mm |