Linija izdelkov VET Energy ni omejena na silicijeve rezine. Ponujamo tudi široko paleto materialov za polprevodniške substrate, vključno s substratom SiC, rezinami SOI, substratom SiN, rezinami Epi itd., kot tudi novimi polprevodniškimi materiali s širokim pasovnim razmakom, kot sta galijev oksid Ga2O3 in rezine AlN. Ti izdelki lahko zadovoljijo potrebe različnih strank v energetski elektroniki, radijskih frekvencah, senzorjih in drugih področjih.
Polja uporabe:
•Integrirana vezja:Kot osnovni material za proizvodnjo integriranih vezij se silicijeve rezine tipa P pogosto uporabljajo v različnih logičnih vezjih, pomnilnikih itd.
•Napajalne naprave:Silicijeve rezine tipa P se lahko uporabljajo za izdelavo močnostnih naprav, kot so močnostni tranzistorji in diode.
•Senzorji:Silicijeve rezine tipa P se lahko uporabljajo za izdelavo različnih vrst senzorjev, kot so tlačni senzorji, temperaturni senzorji itd.
•Sončne celice:Silicijeve rezine tipa P so pomembna sestavina sončnih celic.
VET Energy nudi strankam prilagojene rešitve za rezine in lahko prilagodi rezine z različno upornostjo, različno vsebnostjo kisika, različno debelino in drugimi specifikacijami glede na posebne potrebe strank. Poleg tega nudimo tudi strokovno tehnično podporo in poprodajne storitve, ki strankam pomagajo pri reševanju različnih težav, s katerimi se srečujejo v proizvodnem procesu.
SPECIFIKACIJE OBLATOV
*n-Pm=n-tip Pm-razred,n-Ps=n-tip Ps-razred,Sl=polizolacijski
Postavka | 8-palčni | 6-palčni | 4-palčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Absolutna vrednost | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Deformacija (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2 μm | ||||
Wafer Edge | Beveliranje |
POVRŠINSKA OBRADA
*n-Pm=n-tip Pm-razred,n-Ps=n-tip Ps-razred,Sl=polizolacijski
Postavka | 8-palčni | 6-palčni | 4-palčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Površinska obdelava | Dvostransko optično poliranje, Si-Face CMP | ||||
Površinska hrapavost | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Robni čipi | Ni dovoljeno (dolžina in širina≥0,5 mm) | ||||
Zamiki | Ni dovoljeno | ||||
Praske (Si-Face) | Kol.≤5,Kumulativno | Kol.≤5,Kumulativno | Kol.≤5,Kumulativno | ||
Razpoke | Ni dovoljeno | ||||
Izključitev robov | 3 mm |