අඟල් 6 N වර්ගයේ SiC වේෆර්

කෙටි විස්තරය:

VET Energy වෙතින් අඟල් 6 N Type SiC Wafer යනු උසස් අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්ය සාධන උපස්ථරයක් වන අතර එය උසස් තාප සන්නායකතාවය සහ බල කාර්යක්ෂමතාව ලබා දෙයි. VET Energy නවීන ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලන, බලශක්ති උපාංගවල විශ්වසනීයත්වය සහ කල්පැවැත්ම සහතික කරන උසස් තත්ත්වයේ වේෆර් නිෂ්පාදනය කිරීමට අති නවීන තාක්‍ෂණය භාවිතා කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න PDF ලෙස බාගන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

මෙම අඟල් 6 N වර්ගයේ SiC වේෆර් නිර්මාණය කර ඇත්තේ ආන්තික තත්වයන් තුළ වැඩිදියුණු කළ කාර්ය සාධනය සඳහා වන අතර, එය ඉහළ බලයක් සහ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක් අවශ්‍ය යෙදුම් සඳහා කදිම තේරීමක් කරයි. මෙම වේෆරය හා සම්බන්ධ ප්‍රධාන නිෂ්පාදන අතර Si Wafer, SiC උපස්ථරය, SOI වේෆර් සහ SiN උපස්ථරය ඇතුළත් වේ. මෙම ද්‍රව්‍ය විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි ප්‍රශස්ත කාර්ය සාධනය සහතික කරයි, බලශක්ති කාර්යක්ෂම සහ කල් පවතින උපාංග සක්‍රීය කරයි.

Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, Cassette, හෝ AlN Wafer සමඟ වැඩ කරන සමාගම් සඳහා, VET Energy's 6 Inch N Type SiC Wafer නව්‍ය නිෂ්පාදන සංවර්ධනය සඳහා අවශ්‍ය පදනම සපයයි. එය අධි බලැති ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල හෝ RF තාක්‍ෂණයේ නවතම ඒවා වේවා, මෙම වේෆර් විශිෂ්ට සන්නායකතාවය සහ අවම තාප ප්‍රතිරෝධය සහතික කරයි, කාර්යක්ෂමතාවයේ සහ ක්‍රියාකාරීත්වයේ සීමාවන් තල්ලු කරයි.

WAFERING පිරිවිතර

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating

අයිතමය	8-අඟල්	6-අඟල්			4-අඟල්
අයිතමය	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6 උ	≤6 උ
Bow(GF3YFCD)-නිරපේක්ෂ අගය	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
වේෆර් එජ්	Beveling

මතුපිට නිමාව

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating

අයිතමය	8-අඟල්	6-අඟල්			4-අඟල්
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
මතුපිට නිමාව	ද්විත්ව පැත්ත ඔප්ටිකල් පොලිෂ්, Si- මුහුණ CMP
මතුපිට රළුබව	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm
එජ් චිප්ස්	කිසිවකට අවසර නැත (දිග සහ පළල≥0.5mm)
ඉන්ඩෙන්ට්ස්	කිසිවකට අවසර නැත
සීරීම් (Si-Face)	Qty.≤5, සමුච්චිත දිග≤0.5× වේෆර් විෂ්කම්භය	Qty.≤5, සමුච්චිත දිග≤0.5× වේෆර් විෂ්කම්භය			Qty.≤5, සමුච්චිත දිග≤0.5× වේෆර් විෂ්කම්භය
ඉරිතැලීම්	කිසිවකට අවසර නැත
දාර බැහැර කිරීම	3 මි.මී