vet-چين کي يقيني بڻائي ٿي ته هر پائيدارسلکان ڪاربائيڊ ويفر هينڊلنگ پيڊلشاندار ڪارڪردگي ۽ استحڪام آهي. هي سلڪون ڪاربائيڊ ويفر هٿ ڪرڻ واري پيڊل جديد پيداوار واري عمل کي استعمال ڪري ٿو انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته ان جي ساخت جي استحڪام ۽ ڪارڪردگي اعليٰ درجه حرارت ۽ ڪيميائي سنکنرن واري ماحول ۾ رهي ٿي. هي جديد ڊيزائن سيمي ڪنڊڪٽر ويفر هينڊلنگ لاءِ بهترين مدد فراهم ڪري ٿي ، خاص طور تي اعليٰ صحت واري خودڪار آپريشن لاءِ.
SiC Cantilever Paddleهڪ خاص جزو آهي جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري سامان ۾ استعمال ٿيندو آهي جهڙوڪ آڪسائيڊشن فرنس، ڊفيوشن فرنس، ۽ اينيلنگ فرنس، بنيادي استعمال ويفر لوڊ ڪرڻ ۽ ان لوڊ ڪرڻ، تيز گرمي پد جي عملن دوران ويفرز کي سپورٽ ۽ ٽرانسپورٽ ڪرڻ لاءِ آهي.
عام جوڙجڪجوسي سيcاينٽي ليورpاضافو: هڪ ڪنٽيليور ڍانچي، هڪ آخر ۾ مقرر ۽ ٻئي طرف مفت، عام طور تي هڪ فليٽ ۽ پيڊل جهڙو ڊزائن آهي.
ڪم ڪندڙpاصولجوسي سيcاينٽي ليورpاضافو:
ڪينٽيليور پيڊل فرنس چيمبر جي اندر مٿي ۽ هيٺ يا اڳتي ۽ اڳتي هلي سگهي ٿو، اهو ويفرز کي لوڊ ڪرڻ وارن علائقن کان پروسيسنگ علائقن ڏانهن، يا پروسيسنگ علائقن کان ٻاهر، تيز گرمي جي پروسيسنگ دوران ويفرز کي سپورٽ ۽ مستحڪم ڪرڻ لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو.
Recrystallized Silicon Carbide جي جسماني ملڪيت | |
ملڪيت | عام قدر |
ڪم جي درجه حرارت (°C) | 1600 ° سي (آڪسيجن سان)، 1700 ° سي (ماحول کي گهٽائڻ) |
سي سي مواد | > 99.96٪ |
مفت سي مواد | < 0.1٪ |
وڏي کثافت | 2.60-2.70 g/cm3 |
ظاهري پورائيزيشن | < 16٪ |
کمپريشن جي طاقت | > 600 ايم پي اي |
ٿڌي موڙيندڙ طاقت | 80-90 ايم پي اي (20 ° سي) |
گرم موڙيندڙ طاقت | 90-100 ايم پي اي (1400 ° سي) |
حرارتي توسيع @1500°C | 4.70 10-6/°C |
حرارتي چالکائي @1200°C | 23 W/m•K |
لچڪدار ماڊيولس | 240 جي پي اي |
حرارتي جھٽڪو مزاحمت | تمام سٺو |