PECVD گرافائٽ ٻيڙي کي ڪيئن صاف ڪجي؟ VET توانائي

1. صفائي کان اڳ اقرار

1) جڏهن تهPECVD graphite ٻيڙي/ڪيريئر 100 کان 150 ڀيرا وڌيڪ استعمال ڪيو ويندو آهي، آپريٽر کي وقت ۾ ڪوٽنگ جي حالت کي جانچڻ جي ضرورت آهي. جيڪڏهن ڪو غير معمولي ڪوٽنگ آهي، ان کي صاف ۽ تصديق ڪرڻ جي ضرورت آهي. گريفائيٽ ٻيڙي/ ڪيريئر ۾ سلڪون ويفر جو عام ڪوٽنگ رنگ نيرو آهي. جيڪڏهن ويفر ۾ غير نيرو، گھڻا رنگ آهن، يا ويفر جي وچ ۾ رنگ جو فرق وڏو آهي، اهو هڪ غير معمولي ڪوٽنگ آهي، ۽ غير معمولي جي سبب جي وقت ۾ تصديق ڪرڻ جي ضرورت آهي.
2) عمل کان پوء عملدار جي کوٽ جي حالت جو تجزيوPECVD graphite ٻيڙي/ ڪيريئر، اهي اهو طئي ڪندا ته ڇا گرافائٽ ٻيڙي کي صاف ڪرڻ جي ضرورت آهي ۽ ڇا ڪارڊ پوائنٽ کي تبديل ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ گريفائٽ ٻيڙي / ڪيريئر جنهن کي صاف ڪرڻ جي ضرورت آهي، صفائي لاء سامان جي اهلڪارن جي حوالي ڪيو ويندو.

 

3) کان پوءgraphite ٻيڙي/ڪيريئر خراب ٿي ويو آهي، پيداواري عملدار گريفائٽ ٻيڙيءَ ۾ سڀ سلڪون ويفرز ڪڍندا ۽ سي ڊي اي (ڪمپريسڊ ايئر) استعمال ڪندا.graphite ٻيڙي. مڪمل ٿيڻ کان پوء، سامان جا اهلڪار ان کي تيزاب ٽينڪ ۾ کڻندا جيڪي صفائي لاء HF حل جي مخصوص تناسب سان تيار ڪيا ويا آهن.

 

2. graphite ٻيڙي جي صفائي

صفائي جي ٽن دورن لاءِ 15-25٪ هائيڊرو فلورڪ ايسڊ جو حل استعمال ڪرڻ جي صلاح ڏني وئي آهي، هر هڪ 4-5 ڪلاڪن لاء، ۽ وقتي طور تي نائيٽروجن کي بلبل ڪرڻ ۽ صفائي جي عمل دوران، اٽڪل اڌ ڪلاڪ جي صفائي ۾ اضافو؛ نوٽ: اها سفارش نه ڪئي وئي آهي ته هوا کي سڌو سنئون گئس جو ذريعو بلبلنگ لاء استعمال ڪيو وڃي. اچار ڪرڻ کان پوء، اٽڪل 10 ڪلاڪن تائين خالص پاڻي سان ڌوء، ۽ تصديق ڪريو ته ٻيڙيء کي چڱي طرح صاف ڪيو ويو آهي. صفائي ڪرڻ کان پوء، مهرباني ڪري ٻيڙيء جي مٿاڇري کي چيڪ ڪريو، گرافائٽ ڪارڊ پوائنٽ ۽ ٻيڙيء جي شيٽ جو گڏيل، ۽ ٻين حصن کي ڏسڻ لاء ته ڇا ڪو سلکان نائيٽائڊ باقي آهي. پوء ضرورتن مطابق سڪي.

3. صفائي جا احتياط

الف) جيئن ته HF تيزاب هڪ انتهائي corrosive مادي آهي ۽ هڪ خاص volatility آهي، اهو آپريٽرز لاء خطرناڪ آهي. تنهن ڪري، صفائي واري پوسٽ تي آپريٽرز کي حفاظتي احتياط وٺڻ گهرجي ۽ هڪ وقف شخص طرفان منظم ڪيو وڃي.

ب) اها سفارش ڪئي وئي آهي ته ٻيڙيءَ کي ڌار ڪيو وڃي ۽ صفائي دوران صرف گريفائٽ حصو صاف ڪيو وڃي، ته جيئن هر رابطي واري حصي کي وڌيڪ چڱيءَ طرح صاف ڪري سگهجي. هن وقت، ڪيترائي گهرو ٺاهيندڙن مجموعي صفائي کي استعمال ڪن ٿا، جيڪا آسان آهي، پر ڇاڪاڻ ته HF ايسڊ سيرامڪ حصن کي corrosive آهي، مجموعي طور تي صفائي سان لاڳاپيل حصن جي خدمت جي زندگي کي مختصر ڪري ڇڏيندو.