ترقي يافتهSiC Cantilever Paddleويفر پروسيسنگ لاءِ ويٽ-چائنا ٺاهيل سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ هڪ بهترين حل فراهم ڪري ٿي. هي ڪينٽيليور پيڊل سي سي (سلڪون ڪاربائيڊ) مواد مان ٺهيل آهي، ۽ ان جي اعليٰ سختي ۽ گرميءَ جي مزاحمت ان کي قابل بڻائي ٿي ته اعليٰ درجه حرارت ۽ سنکنرن واري ماحول ۾ شاندار ڪارڪردگي برقرار رکي. Cantilever Paddle جي ڊيزائن ويفر کي پروسيسنگ دوران معتبر طور تي سپورٽ ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿي، ٽڪرائڻ ۽ نقصان جي خطري کي گھٽائڻ.
SiC Cantilever Paddleهڪ خاص جزو آهي جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري سامان ۾ استعمال ٿيندو آهي جهڙوڪ آڪسائيڊشن فرنس، ڊفيوشن فرنس، ۽ اينيلنگ فرنس، بنيادي استعمال ويفر لوڊ ڪرڻ ۽ ان لوڊ ڪرڻ، تيز گرمي پد جي عملن دوران ويفرز کي سپورٽ ۽ ٽرانسپورٽ ڪرڻ لاءِ آهي.
عام جوڙجڪجوسي سيcاينٽي ليورpاضافو: هڪ ڪنٽيليور ڍانچي، هڪ آخر ۾ مقرر ۽ ٻئي طرف مفت، عام طور تي هڪ فليٽ ۽ پيڊل جهڙو ڊزائن آهي.
VET توانائي معيار جي ضمانت ڏيڻ لاءِ اعليٰ پاڪائي ٻيهر بحال ٿيل سلکان ڪاربائيڊ مواد استعمال ڪري ٿي.
| Recrystallized Silicon Carbide جي جسماني ملڪيت | |
| ملڪيت | عام قدر |
| ڪم جي درجه حرارت (°C) | 1600 ° سي (آڪسيجن سان)، 1700 ° سي (ماحول کي گهٽائڻ) |
| سي سي مواد | > 99.96٪ |
| مفت سي مواد | < 0.1٪ |
| وڏي کثافت | 2.60-2.70 g/cm3 |
| ظاهري پورائي | < 16٪ |
| کمپريشن جي طاقت | > 600ايم پي اي |
| ٿڌي موڙيندڙ طاقت | 80-90 ايم پي اي (20 ° سي) |
| گرم موڙيندڙ طاقت | 90-100 ايم پي اي (1400 ° سي) |
| حرارتي توسيع @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| حرارتي چالکائي @1200°C | 23W/m•K |
| لچڪدار ماڊيولس | 240 جي پي اي |
| حرارتي جھٽڪو مزاحمت | تمام سٺو |
ويفر پروسيسنگ لاءِ وي اي ٽي انرجي جي ايڊوانسڊ سي سي ڪينٽيليور پيڊل جا فائدا آهن:
-هاء گرمي جي استحڪام: 1600 ° C کان مٿي ماحول ۾ استعمال لائق؛
- گھٽ حرارتي توسيع جي گنجائش: طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکندي، ويفر وارپج جي خطري کي گھٽائڻ؛
- اعلي پاڪائي: دھات جي آلودگي جو گهٽ خطرو؛
-ڪيميائي inertness: corrosion-مزاحمتي، مختلف گئس ماحول لاء مناسب؛
- اعلي طاقت ۽ سختي: پائڻ-مزاحمتي، ڊگهي خدمت زندگي؛
سٺي حرارتي چالکائي: يونيفارم ويفر حرارتي ۾ مدد ڪري ٿي.
