MOCVD Substrate Heater، حرارتي عناصر MOCVD لاءِ
Graphite heater:
گريفائٽ هيٽر جا حصا استعمال ڪيا ويندا آهن تيز گرمي پد واري فرنس ۾ گرمي پد 2200 درجا ويڪيوم ماحول ۾ ۽ 3000 درجا ڊي آڪسائيڊ ۽ داخل ٿيل گئس ماحول ۾.
graphite heater جي مکيه خاصيتون:
1. حرارتي جوڙجڪ جي هڪجهڙائي.
2. سٺي برقي چالکائي ۽ اعلي برقي لوڊ.
3. corrosion مزاحمت.
4. غير آڪسائيڊيبلٽي.
5. اعلي ڪيميائي پاڪائي.
6. اعلي مشيني طاقت.
فائدو توانائي موثر، اعلي قدر ۽ گهٽ سار سنڀال آهي.
اسان پيدا ڪري سگهون ٿا مخالف آڪسائيڊشن ۽ ڊگهي زندگي جي مدت graphite crucible، graphite مولڊ ۽ graphite heater جي سڀني حصن.
graphite heater جي مکيه parameters:
گريفائٽ هيٽر جا حصا استعمال ڪيا ويندا آهن تيز گرمي پد واري فرنس ۾ گرمي پد 2200 درجا ويڪيوم ماحول ۾ ۽ 3000 درجا ڊي آڪسائيڊ ۽ داخل ٿيل گئس ماحول ۾.
graphite heater جي مکيه خاصيتون:
1. حرارتي جوڙجڪ جي هڪجهڙائي.
2. سٺي برقي چالکائي ۽ اعلي برقي لوڊ.
3. corrosion مزاحمت.
4. غير آڪسائيڊيبلٽي.
5. اعلي ڪيميائي پاڪائي.
6. اعلي مشيني طاقت.
فائدو توانائي موثر، اعلي قدر ۽ گهٽ سار سنڀال آهي.
اسان پيدا ڪري سگهون ٿا مخالف آڪسائيڊشن ۽ ڊگهي زندگي جي مدت graphite crucible، graphite مولڊ ۽ graphite heater جي سڀني حصن.
graphite heater جي مکيه parameters:
ٽيڪنيڪل وضاحت | VET-M3 |
وڏي کثافت (g/cm3) | ≥1.85 |
ايش مواد (PPM) | ≤500 |
ساحل جي سختي | ≥45 |
مخصوص مزاحمت (μ.Ω.m) | ≤12 |
لچڪدار طاقت (Mpa) | ≥40 |
Compressive طاقت (Mpa) | ≥70 |
وڌ. اناج جي ماپ (μm) | ≤43 |
حرارتي توسيع جي کوٽائي Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
اليڪٽرڪ فرنس لاءِ گريفائيٽ هيٽر ۾ گرميءَ جي مزاحمت، آڪسائيڊشن جي مزاحمت، سٺي برقي چالکائي ۽ بهتر ميخانياتي شدت جا خاصيتون آهن. اسان گراهڪ جي ڊيزائن جي مطابق مختلف قسم جا گرافائٽ هيٽر مشين ڪري سگهون ٿا.