Vet-چينSilicon Carbide Ceramicڪوٽنگ هڪ اعلي ڪارڪردگي حفاظتي ڪوٽنگ آهي جيڪا انتهائي سخت ۽ لباس جي مزاحمتي ٺهيل آهيسلکان ڪاربائيڊ (سي سي)مواد، جو بهترين ڪيميائي corrosion مزاحمت ۽ اعلي-پد جي استحڪام مهيا ڪري. اهي خاصيتون سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اهم آهن، تنهنڪريSilicon Carbide Ceramic ڪوٽنگوڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي سامان جي اهم حصن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي.
Vet-چين جو مخصوص ڪردارSilicon Carbide Ceramicسيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ڪوٽنگ هن ريت آهي:
سامان جي استحڪام کي وڌايو:Silicon Carbide Ceramic Coating Silicon Carbide Ceramic Coating مهيا ڪري ٿي بهترين مٿاڇري جي حفاظت لاءِ سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار واري سامان لاءِ ان جي انتهائي سختي ۽ لباس جي مزاحمت سان. خاص طور تي تيز گرمي پد ۽ انتهائي corrosive عمل جي ماحول ۾، جهڙوڪ ڪيميائي وانپ جمع (CVD) ۽ پلازما ايچنگ، ڪوٽنگ مؤثر طريقي سان سامان جي مٿاڇري کي ڪيميائي تباهي يا جسماني لباس جي خراب ٿيڻ کان بچائي سگهي ٿي، ان سان خاص طور تي سروس جي زندگي کي وڌايو وڃي ٿو. سامان ۽ بار بار متبادل ۽ مرمت جي ڪري گھٽ وقت گھٽائڻ.
عمل جي صفائي کي بهتر بنائڻ:سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾، ننڍي آلودگي پيداوار جي خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿي. سلکان ڪاربائڊ سيرامڪ ڪوٽنگ جي ڪيميائي جڙت ان کي انتهائي حالتن ۾ مستحڪم رهڻ جي اجازت ڏئي ٿي، مواد کي ذرات يا نجاست ڇڏڻ کان روڪي ٿي، ان ڪري عمل جي ماحولياتي پاڪيزگي کي يقيني بڻائي ٿي. اهو خاص طور تي اهم آهي پيداوار جي مرحلن لاءِ جنهن کي اعليٰ صحت ۽ اعليٰ صفائي جي ضرورت آهي، جهڙوڪ PECVD ۽ آئن امپلانٽيشن.
حرارتي انتظام کي بهتر ڪريو:تيز گرمي پد جي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ۾، جهڙوڪ تيز حرارتي پروسيسنگ (RTP) ۽ آڪسائيڊشن پروسيسنگ، سلکان ڪاربائڊ سيرامڪ ڪوٽنگ جي اعلي حرارتي چالکائي سامان اندر يونيفارم درجه حرارت جي ورڇ کي قابل بنائي ٿي. هي حرارتي دٻاءُ ۽ مواد جي خرابي کي گهٽائڻ ۾ مدد ڪري ٿو جيڪا درجه حرارت جي وهڪري جي ڪري ٿي ، انهي ڪري پيداوار جي پيداوار جي درستگي ۽ مستقل مزاجي کي بهتر بڻائي ٿي.
پيچيده عمل ماحول جي حمايت:پروسيس ۾ جيڪي پيچيده ماحول جي ڪنٽرول جي ضرورت هونديون آهن، جهڙوڪ ICP ايچنگ ۽ پي ايس ايس ايچنگ پروسيس، سلکان ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگ جي استحڪام ۽ آڪسائيڊ مزاحمت کي يقيني بڻائي ٿو ته سامان ڊگهي مدت جي آپريشن ۾ مستحڪم ڪارڪردگي برقرار رکي، مواد جي تباهي يا سامان جي نقصان جي خطري کي گهٽائڻ. ماحولياتي تبديلين ڏانهن.
| سي وي ڊي SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC جي بنيادي جسماني ملڪيتڪوٽنگ | |
| 性质 / ملڪيت | 典型数值 / عام قدر |
| 晶体结构 / ڪرسٽل جي جوڙجڪ | FCC β مرحلو多晶، 主要为 (111). |
| 密度 / کثافت | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / سختي | 2500 维氏硬度 (500g لوڊ) |
| 晶粒大小 / اناج جي سائيز | 2 ~ 10 ملي ميٽر |
| ههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههه / ڪيميائي صفائي | 99.99995% |
| 热容 / گرمي جي گنجائش | 640 J·kg-1· ڪي-1 |
| 升华温度 / آبهوا جي درجه حرارت | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / لچڪدار طاقت | 415 MPa RT 4 پوائنٽ |
| 杨氏模量 / نوجوان جي ماڊلس | 430 Gpa 4pt موڙ، 1300 ℃ |
| 导热系数 / Thermaلچالاڪت | 300W·m-1· ڪي-1 |
| 热膨胀系数 / حرارتي توسيع (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
اسان جي ڪارخاني جو دورو ڪرڻ لاء توهان کي گرمجوشي سان ڀليڪار، اچو ته وڌيڪ بحث ڪيو!
