Покрытие SiC/графитовая подложка с покрытием/лоток для полупроводников

Краткое описание:

Графитовый токоприемник VET Energy с SiC-покрытием для эпитаксиального роста — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

Покрытие SiC/покрытие графитового токоприемника для полупроводников

Графитовая подложка с покрытием SiCпредставляет собой высоконадежное и эффективное решение, разработанное для удовлетворения строгих требований промышленности по переработке полупроводников. Со слоем высокой чистотыпокрытие из карбида кремния (SiC)Эта подложка обеспечивает исключительную термическую стабильность, стойкость к окислению и длительный срок службы, что делает ее идеальной для применения в процессах MOCVD, носителях графитовых пластин и других высокотемпературных средах.

Функции:
· Отличная устойчивость к тепловому удару
· Отличная устойчивость к физическим ударам
· Отличная химическая стойкость
· Супервысокая чистота
· Наличие сложной формы
·Пригоден для использования в окислительной атмосфере.

Приложение:

Особенности и преимущества продукта:

1. Превосходное термическое сопротивление:С высокой чистотойSiC-покрытиеПодложка выдерживает экстремальные температуры, обеспечивая стабильную работу в сложных условиях, таких как эпитаксия и производство полупроводников.

2. Повышенная долговечность:Графитовые компоненты с покрытием SiC устойчивы к химической коррозии и окислению, что увеличивает срок службы подложки по сравнению со стандартными графитовыми подложками.

3. Графит со стекловидным покрытием:Уникальная структура стекловидного телаSiC-покрытиеобеспечивает превосходную твердость поверхности, сводя к минимуму износ во время высокотемпературной обработки.

4. Покрытие SiC высокой чистоты.:Наша подложка обеспечивает минимальное загрязнение в чувствительных полупроводниковых процессах, обеспечивая надежность для отраслей, где требуется строгая чистота материалов.

5. Широкое рыночное применение:Графитовый токоприемник с покрытием SiCРынок продолжает расти по мере увеличения спроса на современные продукты с покрытием SiC в производстве полупроводников, что делает эту подложку ключевым игроком как на рынке носителей графитовых пластин, так и на рынке графитовых лотков с покрытием из карбида кремния.

Типичные свойства базового графитового материала:

Кажущаяся плотность:	1,85 г/см3
Электрическое сопротивление:	11 мкОм·м
Изгибная прочность:	49 МПа (500 кгс/см2)
Твердость по Шору:	58
Пепел:	<5 частей на миллион
Теплопроводность:	116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Недвижимость	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β-фаза 多晶,主要为(111)取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа РТ 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа, 4-точечный изгиб, 1300 ℃
导热系数 / Теплопроводность	300 Вт·м^-1·К^-1
Тепловое расширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy является реальным производителем изделий из графита и карбида кремния по индивидуальному заказу с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., и может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для создания более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее склонной к отслоению.

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!