Поднос эпитаксиального листа карбида кремния для эпитаксиальной печи полупроводника

Краткое описание:

Лоток для эпитаксиальных листов карбида кремния VET Energy — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.


Детали продукта

Теги продукта

SiC-индукторы1
SiC-индукторы2

Лоток для листов карбида кремния является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления лотков из карбида кремния с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и отличным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостабильностью.

VET Energy является реальным производителем изделий из графита и карбида кремния по индивидуальному заказу с различными покрытиями, такими как SiC, Tac, пиролитический углерод, стеклоуглерод и т. д., и может поставлять различные детали по индивидуальному заказу для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда из ведущих отечественных исследовательских институтов может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для создания более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее склонной к отслоению.

Особенности нашей продукции:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700 ℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность.
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 / Кристаллическая структура

FCC β-фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твердость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2~10 мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа РТ 4-точечный

杨氏模量 / Модуль Юнга

Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)

4,5×10-6K-1

1

2

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!