В качестве носителя обычных кремниевых пластин в процессе производства покрытия,графитовая лодкаимеет множество пластин-лодочек с определенным интервалом в структуре, между двумя соседними пластинами-лодочками очень узкое пространство, а кремниевые пластины расположены по обе стороны от пустой двери.
Поскольку графит, материал графитовой лодочки, обладает хорошей проводимостью и теплопроводностью, между двумя соседними лодочками подается переменное напряжение, образующее положительный и отрицательный электроды. При наличии в камере определенного давления воздуха и газа между двумя лодочками возникает тлеющий разряд. Тлеющий разряд может разлагать газы SiH4 и NH3 в пространстве, образовывать ионы Si и N и объединяться с образованием молекул SiNx. Он наносится на поверхность кремниевой пластины для достижения цели покрытия.
В качестве носителя просветляющего покрытия солнечных элементов структура и размер графитовой лодочки напрямую влияют на эффективность преобразования и эффективность производства кремниевой пластины. После многих лет технических исследований и разработок компания VET Energy теперь располагает передовым производственным оборудованием, опытными разработчиками технологий и опытным производственным персоналом, а материалы являются импортным сырьем. В настоящее время графитовая лодочка, производимая нашей компанией, обладает преимуществами высокой эффективности. Конструкция проста, расстояние между графитовыми лодочками разумное, что делает покрытие кремниевой пластины однородным, улучшает качествокремниевая пластинаи обеспечивает высокую эффективность преобразования солнечной энергии. VET Energy предлагает все виды чернильных лодочек, которые сейчас нужны рынку.
Лодка из графита высокой чистоты PECVD для солнечных батарей
Время публикации: 08 апреля 2021 г.