Как показано выше, это типичный
Первая половина:
Нагревательный элемент (нагревательная катушка): расположен вокруг печной трубы, обычно изготовлен из резистивной проволоки и используется для нагрева внутренней части печи.
Кварцевая трубка: Сердечник печи горячего окисления, изготовленный из кварца высокой чистоты, который выдерживает высокие температуры и остается химически инертным.
Подача газа: расположена в верхней или боковой части трубы печи и используется для транспортировки кислорода или других газов внутрь трубы печи.
Фланец SS: компоненты, соединяющие кварцевые трубки и газопроводы, обеспечивающие герметичность и стабильность соединения.
Линии подачи газа: Трубы, которые соединяют MFC с портом подачи газа для транспортировки газа.
MFC (контроллер массового расхода): устройство, которое контролирует поток газа внутри кварцевой трубки, чтобы точно регулировать необходимое количество газа.
Вентиляция: используется для отвода выхлопных газов изнутри трубы печи наружу из оборудования.
Нижняя часть
Кремниевые пластины в держателе: Кремниевые пластины помещаются в специальный держатель, обеспечивающий равномерный нагрев во время окисления.
Держатель пластин: используется для удержания кремниевой пластины и обеспечения ее стабильности во время процесса.
Пьедестал: конструкция, удерживающая держатель кремниевых пластин, обычно изготовленная из материала, устойчивого к высоким температурам.
Лифт: используется для подъема держателей пластин в кварцевые трубки и из них для автоматической загрузки и выгрузки кремниевых пластин.
Робот для переноса пластин: расположен сбоку от устройства с трубчатой печью и используется для автоматического извлечения кремниевой пластины из коробки и помещения ее в трубку печи или удаления ее после обработки.
Карусель для хранения кассет: Карусель для хранения кассет используется для хранения коробки с кремниевыми пластинами и может вращаться для доступа робота.
Кассета для пластин: кассета для пластин используется для хранения и транспортировки кремниевых пластин, подлежащих обработке.
Время публикации: 22 апреля 2024 г.