Подробно объяснено внутреннее устройство трубчатого оборудования печи.

Как показано выше, это типичный

Первая половина:

▪ Нагревательный элемент (нагревательная спираль):

Расположенный вокруг печной трубы, обычно изготовленный из резистивной проволоки, используемый для нагрева внутренней части печи.

▪ Кварцевая трубка:

Сердцевина печи горячего окисления изготовлена из кварца высокой чистоты, выдерживающего высокие температуры и остающегося химически инертным.

▪ Подача газа:

Расположенный в верхней или боковой части печной трубы, он используется для транспортировки кислорода или других газов внутрь печной трубы.

▪ Фланец из нержавеющей стали:

компоненты, соединяющие кварцевые трубки и газопроводы, обеспечивающие герметичность и стабильность соединения.

▪ Линии подачи газа:

Трубы, соединяющие МФЦ с портом подачи газа для транспортировки газа.

▪ MFC (регулятор массового расхода):

Устройство, которое контролирует поток газа внутри кварцевой трубки, чтобы точно регулировать необходимое количество газа.

▪ Вентиляция:

Используется для вывода выхлопных газов из трубы печи наружу из оборудования.

Нижняя часть:

▪ Кремниевые пластины в держателе:

Кремниевые пластины помещаются в специальный держатель, обеспечивающий равномерный нагрев во время окисления.

▪ Держатель пластин:

Используется для удержания кремниевой пластины и обеспечения ее стабильности во время процесса.

▪ Пьедестал:

Структура, удерживающая держатель кремниевых пластин, обычно изготовленная из материала, устойчивого к высоким температурам.

▪ Лифт:

Используется для подъема держателей пластин в кварцевые трубки и из них для автоматической загрузки и выгрузки кремниевых пластин.

▪ Робот для переноса пластин:

Расположенный сбоку устройства с трубчатой печью, он используется для автоматического извлечения кремниевой пластины из коробки и помещения ее в трубку печи или удаления ее после обработки.