Основные функциилодка из карбида кремнияопора и кварцевая опора для лодки одинаковы.Лодка из карбида кремнияПоддержка имеет отличную производительность, но высокую цену. Это представляет собой альтернативу поддержке кварцевых лодочек в оборудовании для обработки аккумуляторов с тяжелыми условиями работы (например, в оборудовании LPCVD и в оборудовании для диффузии бора). В оборудовании для обработки аккумуляторов с обычными условиями работы из-за ценовых соотношений опоры из карбида кремния и кварца становятся сосуществующими и конкурирующими категориями.
① Соотношение замещения в LPCVD и бордиффузионном оборудовании.
Оборудование LPCVD используется для туннельного окисления аккумуляторных элементов и процесса подготовки слоя легированного поликремния. Принцип работы:
В атмосфере низкого давления в сочетании с соответствующей температурой химическая реакция и образование пленки осаждения достигаются для получения ультратонкого туннельного оксидного слоя и пленки поликремния. В процессе туннельного окисления и подготовки слоя легированного поликремния опора лодочки имеет высокую рабочую температуру, и на поверхность осаждается кремниевая пленка. Коэффициент теплового расширения кварца сильно отличается от коэффициента теплового расширения кремния. При использовании в вышеуказанном процессе необходимо регулярно травить и удалять кремний, осажденный на поверхности, чтобы предотвратить разрушение кварцевой опоры лодочки из-за теплового расширения и сжатия из-за другого коэффициента теплового расширения кремния. Из-за частого травления и низкой жаропрочности кварцевый держатель лодочки имеет короткий срок службы и часто заменяется в процессе туннельного окисления и подготовки слоя легированного поликремния, что значительно увеличивает себестоимость аккумуляторного элемента. Коэффициент расширениякарбид кремнияблизок к кремнию. Интегрированныйлодка из карбида кремниядержатель не требует травления в процессе туннельного окисления и подготовки слоя легированного поликремния. Он обладает высокой жаропрочностью и длительным сроком службы. Это хорошая альтернатива кварцевому держателю для лодок.
Оборудование для расширения бора в основном используется для процесса легирования борными элементами на подложке кремниевой пластины N-типа аккумуляторного элемента для подготовки эмиттера P-типа для формирования PN-перехода. Принцип работы заключается в реализации химической реакции и формировании пленки молекулярного осаждения в высокотемпературной атмосфере. После того, как пленка сформирована, ее можно диффундировать путем высокотемпературного нагрева, чтобы реализовать функцию легирования поверхности кремниевой пластины. Из-за высокой рабочей температуры борного расширительного оборудования кварцевый держатель лодочки имеет низкую жаропрочность и небольшой срок службы в борном расширительном оборудовании. Интегрированныйлодка из карбида кремнияДержатель обладает высокой жаропрочностью и является хорошей альтернативой кварцевому держателю лодочки в процессе расширения бора.
② Отношения замены в другом технологическом оборудовании
Опоры для лодок из карбида кремния обладают высокой производительностью и отличными эксплуатационными характеристиками. Их цена обычно выше, чем у кварцевых опор для лодок. В общих условиях работы оборудования для обработки ячеек разница в сроке службы между опорами для лодочек из SiC и кварцевыми опорами для лодочек невелика. Потребители нижнего сегмента в основном сравнивают и выбирают между ценой и производительностью, основываясь на своих собственных процессах и потребностях. Опоры для лодок из карбида кремния и кварцевые опоры для лодок стали сосуществовать и конкурентоспособны. Однако валовая прибыль от производства опор для лодок из карбида кремния в настоящее время относительно высока. При снижении себестоимости производства опор для лодок из SiC, если продажная цена опор для лодок из SiC активно снижается, это также повысит конкурентоспособность кварцевых опор для лодок.
Коэффициент использования
Маршрут клеточных технологий – это, главным образом, технологии PERC и TOPCon. Доля рынка технологии PERC составляет 88%, а доля рынка технологии TOPCon — 8,3%. Их совокупная рыночная доля составляет 96,30%.
Как показано на рисунке ниже:
В технологии PERC для процессов фронтальной диффузии фосфора и отжига необходимы опоры-лодочки. В технологии TOPCon опоры-лодочки необходимы для процессов передней диффузии бора, LPCVD, обратной диффузии фосфора и отжига. В настоящее время опоры лодочек из карбида кремния в основном используются в процессе LPCVD технологии TOPCon, а их применение в процессе диффузии бора в основном проверено.
Рисунок Применение опор для лодок в процессе обработки клеток
Примечание. После нанесения переднего и заднего покрытия по технологиям PERC и TOPCon все еще существуют такие звенья, как трафаретная печать, спекание, испытания и сортировка, которые не предполагают использования опор для лодок и не указаны на рисунке выше.
Время публикации: 15 октября 2024 г.