Кассета вафли карбида кремния с длинным сроком службы с покрытием SiC

Краткое описание:

Кассета из карбида кремния VET Energy с покрытием SiC — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.


Детали продукта

Теги продукта

Свойства рекристаллизованного карбида кремния

Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — высокоэффективный материал, твердость которого уступает только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000 ℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как устойчивость к высоким температурам, сильная коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая стойкость к термическому удару и так далее.

● Отличные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, высокую ударопрочность, может хорошо работать в условиях экстремальных температур, может показывать лучшие характеристики противовеса в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и его нелегко повредить при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его характеристики.

● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, может предотвращать эрозию различных агрессивных сред, сохранять свои механические свойства в течение длительного времени, обладает сильной адгезией, что обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшая эффект от применения.

● Спекание не дает усадки. Поскольку процесс спекания не дает усадки, никакое остаточное напряжение не приведет к деформации или растрескиванию изделия, и можно изготавливать детали сложной формы и высокой точности.

重结晶碳 и 硅物理特性

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

使用温度/ Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

Карбид кремния含量/ Содержание карбида кремния

> 99,96%

自由Си含量/ Бесплатный контент Si

< 0,1%

体积密度/Объемная плотность

2,60-2,70 г/см3

气孔率/ Кажущаяся пористость

< 16%

抗压强度/ Прочность на сжатие

> 600МПа

常温抗弯强度/Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

高温抗弯强度Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

热膨胀系数/ Тепловое расширение при 1500°C

4,70 10-6/°С

导热系数/Теплопроводность при 1200°C

23Вт/м•К

杨氏模量/ Модуль упругости

240 ГПа

抗热震性/ Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

ПОО Энергия тотнастоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с CVD-покрытием,может предоставитьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить более профессиональные решения по материалам.для тебя.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы, чтобы предоставлять более совершенные материалы,иразработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать соединение покрытия с подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 / Кристаллическая структура

FCC β-фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твердость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2~10 мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа РТ 4-точечный

杨氏模量 / Модуль Юнга

Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)

4,5×10-6K-1

1

2

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!