Рекристаллизованная шлюпка из карбида кремния кристаллическая для полупроводниковой промышленности

Краткое описание:

Кристаллическая лодка из рекристаллизованного карбида кремния VET Energy — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.


Детали продукта

Теги продукта

Свойства рекристаллизованного карбида кремния

Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — высокоэффективный материал, твердость которого уступает только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000 ℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как устойчивость к высоким температурам, сильная коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая стойкость к термическому удару и так далее.

● Отличные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, высокую ударопрочность, может хорошо работать в условиях экстремальных температур, может показывать лучшие характеристики противовеса в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и его нелегко повредить при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его характеристики.

● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, может предотвращать эрозию различных агрессивных сред, сохранять свои механические свойства в течение длительного времени, обладает сильной адгезией, что обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшая эффект от применения.

● Спекание не дает усадки. Поскольку процесс спекания не дает усадки, никакое остаточное напряжение не приведет к деформации или растрескиванию изделия, и можно изготавливать детали сложной формы и высокой точности.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

使用温度/ Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

Карбид кремния含量/ Содержание карбида кремния

> 99,96%

自由Си含量/ Бесплатный контент Si

< 0,1%

体积密度/Объемная плотность

2,60-2,70 г/см3

气孔率/ Кажущаяся пористость

< 16%

抗压强度/ Прочность на сжатие

> 600МПа

常温抗弯强度/Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

高温抗弯强度Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

热膨胀系数/ Тепловое расширение при 1500°C

4,70 10-6/°С

导热系数/Теплопроводность при 1200°C

23Вт/м•К

杨氏模量/ Модуль упругости

240 ГПа

抗热震性/ Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

VET Energy является реальным производителем изделий из графита и карбида кремния по индивидуальному заказу с CVD-покрытием и может поставлять различные детали по индивидуальному заказу для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для создания более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее склонной к отслоению.

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!