Графитовое кольцо с покрытием из карбида кремния CVD

Графитовое кольцо с CVD-покрытием из карбида кремния Рекомендуемое изображение

Краткое описание:

Графитовое кольцо VET Energy с покрытием из карбида кремния — это высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

Типичные свойства базового графитового материала:

Кажущаяся плотность:	1,85 г/см3
Электрическое сопротивление:	11 мкОм·м
Изгибная прочность:	49 МПа (500 кгс/см2)
Твердость по Шору:	58
Пепел:	<5 частей на миллион
Теплопроводность:	116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

Мы поставляем различные токоприемники и графитовые компоненты для всех современных эпитаксионных реакторов. Наша продукция включает в себя цилиндрические токоприемники для установок LPE, блинчатые токоприемники для установок LPE, CSD и Gemini, а также однопластинчатые токоприемники для установок прикладного и ASM.

Объединив прочные партнерские отношения с ведущими OEM-производителями, знания материалов и производственные ноу-хау, vet предлагает оптимальную конструкцию для вашего применения.

ПОО Энергия тотнастоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с CVD-покрытием,может предоставитьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить более профессиональные решения по материалам.для тебя.

FОсобенности нашей продукции:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700.℃.
2. Высокая чистота итепловая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β-фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа РТ 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1