Purtător/Susceptor de grafit acoperit cu SiC

Scurta descriere:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor este un produs de înaltă performanță conceput pentru a oferi performanțe consistente și fiabile pe o perioadă lungă de timp.Are o rezistență foarte bună la căldură și uniformitate termică, puritate ridicată, rezistență la eroziune, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de prelucrare a plachetelor.

 


Detaliile produsului

Etichete de produs

Suscetporul acoperit cu SiC este o componentă cheie utilizată în diferite procese de fabricație a semiconductorilor.Folosim tehnologia noastră patentată pentru a face suscetporul acoperit cu SiC cu puritate extrem de ridicată, uniformitate bună a acoperirii și o durată de viață excelentă, precum și rezistență chimică ridicată și proprietăți de stabilitate termică.

Caracteristicile produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700℃.
2. Puritate ridicată și uniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

purtător2 purtător4

transportator1 purtător3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCstrat

性质 / Proprietate

典型数值 / Valoare tipica

晶体结构 / Structură cristalină

faza β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitatea

3,21 g/cm³

硬度 / Duritate

2500 维氏硬度(încărcare 500g)

晶粒大小 / Marimea unui bob

2~10μm

纯度 / Puritatea chimică

99,99995%

热容 / Capacitatea termică

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de sublimare

2700℃

抗弯强度 / Rezistență la încovoiere

415 MPa RT în 4 puncte

杨氏模量 / Modulul tinerilor

430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivitate

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Vă urăm călduros să vizitați fabrica noastră, să avem discuții suplimentare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Anterior:
  • Următorul:

  • Chat online WhatsApp!