Structura internă a echipamentului tubului cuptorului este explicată în detaliu

După cum se arată mai sus, este un tipic

Prima jumătate:

▪ Element de încălzire (bobina de încălzire):

situat în jurul tubului cuptorului, de obicei realizat din fire de rezistență, folosit pentru a încălzi interiorul tubului cuptorului.

▪ Tub de cuarț:

Miezul unui cuptor de oxidare la cald, realizat din cuarț de înaltă puritate, care poate rezista la temperaturi ridicate și rămâne inert din punct de vedere chimic.

▪ Alimentare cu gaz:

Situat în partea superioară sau laterală a tubului cuptorului, este utilizat pentru a transporta oxigen sau alte gaze în interiorul tubului cuptorului.

▪ Flanșă inox:

componente care conectează tuburile de cuarț și conductele de gaz, asigurând etanșeitatea și stabilitatea conexiunii.

▪ Linii de alimentare cu gaz:

Conducte care conectează MFC la portul de alimentare cu gaz pentru transportul gazului.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Un dispozitiv care controlează fluxul de gaz în interiorul unui tub de cuarț pentru a regla cu precizie cantitatea de gaz necesară.

▪ Aerisire:

Folosit pentru evacuarea gazelor de evacuare din interiorul tubului cuptorului spre exteriorul echipamentului.

Partea inferioară:

▪ Napolitane de silicon în suport:

Vaferele de siliciu sunt găzduite într-un suport special pentru a asigura căldură uniformă în timpul oxidării.

▪ Suport pentru napolitană:

Folosit pentru a ține placa de siliciu și pentru a se asigura că placa de siliciu rămâne stabilă în timpul procesului.

▪ Piedestal:

O structură care deține un suport pentru napolitană de siliciu, de obicei realizat dintr-un material rezistent la temperaturi ridicate.

▪ Lift:

Folosit pentru a ridica suporturile pentru napolitane în și din tuburile de cuarț pentru încărcarea și descărcarea automată a plachetelor de siliciu.

▪ Robot de transfer de napolitane:

situat pe partea laterală a dispozitivului cu tubul cuptorului, este folosit pentru a îndepărta automat napolitana de siliciu din cutie și a o plasa în tubul cuptorului sau pentru a o îndepărta după procesare.

▪ Carusel de stocare a casetelor:

Caruselul de depozitare a casetei este folosit pentru a stoca o cutie care conține plachete de siliciu și poate fi rotit pentru accesul robotului.

▪ Caseta Wafer:

Caseta de napolitane este folosită pentru a stoca și transfera plachetele de siliciu care urmează să fie procesate.