Structura internă a echipamentului tubului cuptorului este explicată în detaliu

După cum se arată mai sus, este un tipic

Prima jumătate:
Element de încălzire (bobina de încălzire): situat în jurul tubului cuptorului, de obicei realizat din fire de rezistență, folosit pentru a încălzi interiorul tubului cuptorului.
Tub de cuarț: Miezul unui cuptor de oxidare la cald, realizat din cuarț de înaltă puritate, care poate rezista la temperaturi ridicate și rămâne inert din punct de vedere chimic.
Alimentare cu gaz: Situat în partea superioară sau laterală a tubului cuptorului, este utilizat pentru a transporta oxigen sau alte gaze în interiorul tubului cuptorului.
Flanșă SS: componente care conectează tuburile de cuarț și conductele de gaz, asigurând etanșeitatea și stabilitatea conexiunii.
Linii de alimentare cu gaz: conducte care conectează MFC la portul de alimentare cu gaz pentru transportul gazului.
MFC (Mass Flow Controller): Un dispozitiv care controlează fluxul de gaz în interiorul unui tub de cuarț pentru a regla cu precizie cantitatea de gaz necesară.
Aerisire: Folosit pentru a evacua gazele de evacuare din interiorul tubului cuptorului spre exteriorul echipamentului.

Partea inferioară
Napolitane de siliciu în suport: Napolitanele de siliciu sunt găzduite într-un suport special pentru a asigura căldură uniformă în timpul oxidării.
Suport pentru napolitană: Folosit pentru a ține placa de siliciu și pentru a se asigura că placa de siliciu rămâne stabilă în timpul procesului.
Piedestal: O structură care deține un suport pentru napolitană de silicon, de obicei realizat dintr-un material rezistent la temperaturi ridicate.
Elevator: Folosit pentru a ridica suporturile de napolitane în și din tuburile de cuarț pentru încărcarea și descărcarea automată a plachetelor de siliciu.
Robot de transfer de napolitane: situat pe partea laterală a dispozitivului tubului cuptorului, este folosit pentru a scoate automat napolitana de siliciu din cutie și a o plasa în tubul cuptorului sau pentru a o îndepărta după procesare.
Carusel de stocare a casetelor: Caruselul de depozitare a casetei este folosit pentru a stoca o cutie care conține plachete de siliciu și poate fi rotit pentru accesul robotului.
Caseta de napolitane: caseta de napolitane este folosită pentru a stoca și transfera plachetele de siliciu care urmează să fie procesate.