Principalele funcții alebarca cu carbură de siliciusuportul și suportul pentru barcă de cuarț sunt aceleași.Barcă din carbură de siliciusuportul are performanțe excelente, dar preț ridicat. Constituie o relație alternativă cu suportul bărcilor de cuarț în echipamentele de procesare a bateriilor cu condiții dure de lucru (cum ar fi echipamentele LPCVD și echipamentele de difuzie a borului). În echipamentele de prelucrare a bateriilor cu condiții obișnuite de lucru, datorită relațiilor de preț, suportul pentru bărci cu carbură de siliciu și cuarț devin categorii coexistente și concurente.
① Relația de substituție în LPCVD și echipamentele de difuzie a borului
Echipamentul LPCVD este utilizat pentru oxidarea tunelului celulelor bateriei și procesul de pregătire a stratului de polisiliciu dopat. Principiul de funcționare:
În atmosferă de joasă presiune, combinate cu temperatura adecvată, reacția chimică și formarea filmului de depunere sunt realizate pentru a pregăti stratul de oxid de tunel ultra-subțire și filmul de polisiliciu. În procesul de oxidare prin tunel și de pregătire a stratului de polisiliciu dopat, suportul bărcii are o temperatură de lucru ridicată și o peliculă de siliciu va fi depusă la suprafață. Coeficientul de dilatare termică al cuarțului este destul de diferit de cel al siliciului. Atunci când este utilizat în procesul de mai sus, este necesar să decapați și să îndepărtați în mod regulat siliciul depus pe suprafață pentru a preveni ruperea suportului de cuarț al bărcii din cauza expansiunii și contracției termice din cauza coeficientului de dilatare termică diferit față de siliciu. Datorită decaparii frecvente și rezistenței scăzute la temperatură ridicată, suportul pentru barcă de cuarț are o durată scurtă de viață și este înlocuit frecvent în procesul de oxidare a tunelului și de pregătire a stratului de polisiliciu dopat, ceea ce crește semnificativ costul de producție al celulei bateriei. Coeficientul de expansiune alcarbură de siliciueste apropiată de cea a siliciului. Cea integratăbarca cu carbură de siliciusuportul nu necesită decapare în procesul de oxidare tunel și de pregătire a stratului de polisiliciu dopat. Are rezistență ridicată la temperatură ridicată și durată lungă de viață. Este o alternativă bună la suportul pentru barcă din cuarț.
Echipamentul de expansiune a borului este utilizat în principal pentru procesul de dopare a elementelor de bor pe substratul plăcii de siliciu de tip N al celulei bateriei pentru a pregăti emițătorul de tip P pentru a forma o joncțiune PN. Principiul de lucru este de a realiza reacțiile chimice și formarea peliculei de depunere moleculară într-o atmosferă la temperatură înaltă. După ce filmul este format, acesta poate fi difuzat prin încălzire la temperatură înaltă pentru a realiza funcția de dopaj a suprafeței plachetei de siliciu. Datorită temperaturii ridicate de lucru a echipamentului de expansiune a borului, suportul pentru barcă de cuarț are rezistență scăzută la temperatură ridicată și o durată de viață scurtă în echipamentul de expansiune a borului. Cea integratăbarca cu carbură de siliciusuportul are rezistență ridicată la temperatură ridicată și este o alternativă bună la suportul pentru barcă de cuarț în procesul de expansiune a borului.
② Relația de înlocuire în alte echipamente de proces
Suporturile pentru bărci SiC au o capacitate de producție redusă și performanțe excelente. Prețul lor este în general mai mare decât cel al suporturilor pentru bărci din cuarț. În condițiile generale de lucru ale echipamentelor de procesare celulară, diferența de viață între suporturile pentru bărci SiC și suporturile pentru bărci din cuarț este mică. Clienții din aval compară și aleg în principal între preț și performanță pe baza propriilor procese și nevoi. Suporturile pentru bărci SiC și suporturile pentru bărci din cuarț au devenit coexistente și competitive. Cu toate acestea, marja de profit brut a suporturilor pentru bărci SiC este relativ mare în prezent. Odată cu scăderea costului de producție al suporturilor pentru ambarcațiuni din SiC, dacă prețul de vânzare al suporturilor pentru bărci din SiC scade în mod activ, va reprezenta, de asemenea, o competitivitate mai mare pentru suporturile din cuarț.
Raportul de utilizare
Ruta tehnologiei celulare este în principal tehnologia PERC și tehnologia TOPCon. Cota de piață a tehnologiei PERC este de 88%, iar cota de piață a tehnologiei TOPCon este de 8,3%. Cota de piață combinată a celor doi este de 96,30%.
După cum se arată în figura de mai jos:
În tehnologia PERC, suporturile pentru bărci sunt necesare pentru procesele frontale de difuzie și recoacere a fosforului. În tehnologia TOPCon, suporturile pentru bărci sunt necesare pentru difuzia frontală a borului, LPCVD, difuzia din spate a fosforului și procesele de recoacere. În prezent, suporturile pentru bărci din carbură de siliciu sunt utilizate în principal în procesul LPCVD al tehnologiei TOPCon, iar aplicarea lor în procesul de difuzie a borului a fost verificată în principal.
Figura Aplicarea suporturilor de barcă în procesul de prelucrare celulară
Notă: După acoperirea din față și din spate a tehnologiilor PERC și TOPCon, mai există legături precum imprimarea serigrafică, sinterizarea și testarea și sortarea, care nu implică utilizarea suporturilor pentru bărci și nu sunt enumerate în figura de mai sus.
Ora postării: 15-oct-2024