Carbura de siliciu (SiC) este un nou material semiconductor compus. Carbura de siliciu are o bandă interzisă mare (de aproximativ 3 ori siliciu), intensitate ridicată a câmpului critic (de aproximativ 10 ori siliciu), conductivitate termică ridicată (aproximativ 3 ori siliciu). Este un material semiconductor important de ultimă generație. Acoperirile de SiC sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductoarelor și în domeniul solar fotovoltaic. În special, susceptorii utilizați în creșterea epitaxială a LED-urilor și epitaxia monocristalului de Si necesită utilizarea acoperirii cu SiC. Datorită tendinței puternice de creștere a LED-urilor în industria iluminatului și a afișajelor și a dezvoltării viguroase a industriei semiconductoarelor,Produs de acoperire SiCperspectivele sunt foarte bune.
DOMENIUL DE APLICARE
Puritate, Structura SEM, analiza grosimiiAcoperire SiC
Puritatea acoperirilor de SiC pe grafit prin utilizarea CVD este de până la 99,9995%. Structura sa este fcc. Filmele de SiC acoperite cu grafit sunt (111) orientate așa cum se arată în datele XRD (Fig.1) indicând calitatea sa cristalină ridicată. Grosimea filmului de SiC este foarte uniformă, așa cum se arată în Fig. 2.
Fig. 2: uniformă de grosime a filmelor de SiC SEM și XRD a filmului beta-SiC pe grafit
Datele SEM ale filmului subțire CVD SiC, dimensiunea cristalului este de 2 ~ 1 Opm
Structura cristalină a filmului CVD SiC este o structură cubică centrată pe față, iar orientarea de creștere a filmului este aproape de 100%
Acoperit cu carbură de siliciu (SiC).baza este cea mai bună bază pentru siliciu monocristal și epitaxie GaN, care este componenta de bază a cuptorului pentru epitaxie. Baza este un accesoriu cheie de producție pentru siliciu monocristalin pentru circuite integrate mari. Are puritate ridicată, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, etanșeitate bună la aer și alte caracteristici excelente ale materialului.
Aplicarea și utilizarea produsului
Acoperire de bază de grafit pentru creșterea epitaxială de siliciu monocristal Potrivit pentru mașini Aixtron, etc. Grosimea acoperirii: 90 ~ 150um Diametrul craterului de napolitană este de 55 mm.
Ora postării: 14-03-2022