Transportador/susceptor de grafite revestido com SiC

Imagem em destaque do portador/susceptor de grafite revestido de SiC

Breve descrição:

O transportador/susceptor de grafite revestido com SiC VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.

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Detalhes do produto

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O suscetpor revestido de SiC é um componente chave usado em vários processos de fabricação de semicondutores. Usamos nossa tecnologia patenteada para fabricar o suscetpor revestido de SiC com pureza extremamente alta, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e propriedades de estabilidade térmica.

Características dos nossos produtos:

1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e mais durável

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 /Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700°C
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT de 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1