Barco de grafite usado em PECVD da linha de produção de células solares
A produção de células solares requer seis processos principais: texturização, difusão, gravação, revestimento, serigrafia e sinterização. Na fabricação de células solares, o processo de revestimento de tubos PECVD utiliza um barco de grafite como corpo de trabalho. O processo de revestimento usa deposição de vapor químico aprimorada por plasma para depositar um filme de nitreto de silício na frente do wafer de silício para reduzir o reflexo da luz solar e a superfície do wafer de silício.
Características do nosso barco de grafite PECVD:
1). Adotado para eliminar a tecnologia de "lentes coloridas", para garantir a ausência de "lentes coloe" durante o processo de longo prazo.
2). Feito de material de grafite importado com alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3). Usando 99,9% de cerâmica para a montagem de cerâmica com forte desempenho resistente à corrosão e à prova de bruscas.
4). Usando o equipamento de processamento de precisão para garantir a precisão de cada peça.
Especificação
Item | Tipo | Porta-wafer numérico |
Barco de grafite PEVCD --- A série 156 | Barco de grafite 156-13 | 144 |
Barco de grafite 156-19 | 216 | |
Barco de grafite 156-21 | 240 | |
Barco de grafite 156-23 | 308 | |
Barco de grafite PEVCD --- A série 125 | Barco de grafite 125-15 | 196 |
Barco de grafite 125-19 | 252 | |
Barco de grafite 125-21 | 280 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia, incluindo grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície como revestimento SiC, revestimento TaC, carbono vítreo revestimento, revestimento pirolítico de carbono, etc., esses produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.
Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e desenvolveu múltiplas tecnologias patenteadas para garantir o desempenho e a qualidade do produto, também pode fornecer aos clientes soluções de materiais profissionais.