Barco PECVD de grafite de alta pureza para painel solar
Descrição
1). Adotado para eliminar a tecnologia de “lentes coloridas”, para garantir a ausência de “lentes coloridas” durante o processo de longo prazo.
2). Feito de material de grafite importado SGL com alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3). Usando 99,9% de cerâmica para a montagem de cerâmica com forte desempenho resistente à corrosão e à prova de bruscas.
4). Usando o equipamento de processamento de precisão para garantir a precisão de cada peça.
Especificação
Item | Tipo | Porta-wafer numérico |
Barco de grafite PECVD — A série 156 | Barco de grafite 156-13 | 144 |
Barco de grafite 156-19 | 216 | |
Barco de grafite 156-21 | 240 | |
Barco de grafite 156-23 | 308 | |
Barco de grafite PECVD — A série 125 | Barco de grafite 125-15 | 196 |
Barco de grafite 125-19 | 252 | |
Barco de grafite 125-21 | 280 |
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