Barco PECVD de grafite de alta pureza para painel solar

Breve descrição:

1). Adotado para eliminar a tecnologia de “lentes coloridas”, para garantir a ausência de “lentes coloridas” durante o processo de longo prazo.
2). Feito de material de grafite importado SGL com alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3). Usando 99,9% de cerâmica para a montagem de cerâmica com forte desempenho resistente à corrosão e à prova de bruscas.
4). Usando o equipamento de processamento de precisão para garantir a precisão de cada peça.


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Barco PECVD de grafite de alta pureza para painel solar

 

Descrição
1). Adotado para eliminar a tecnologia de “lentes coloridas”, para garantir a ausência de “lentes coloridas” durante o processo de longo prazo.
2). Feito de material de grafite importado SGL com alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3). Usando 99,9% de cerâmica para a montagem de cerâmica com forte desempenho resistente à corrosão e à prova de bruscas.
4). Usando o equipamento de processamento de precisão para garantir a precisão de cada peça.

Especificação

Item Tipo Porta-wafer numérico
Barco de grafite PECVD —
A série 156
Barco de grafite 156-13 144
Barco de grafite 156-19 216
Barco de grafite 156-21 240
Barco de grafite 156-23 308
Barco de grafite PECVD —
A série 125
Barco de grafite 125-15 196
Barco de grafite 125-19 252
Barco de grafite 125-21 280

 

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