Transportador de grafite para processo PECVD

Breve descrição:

Energia EFPO barco de grafite PECVD para painel solar é um componente avançado projetado especificamente para a produção de painéis solares de alto desempenho. Usado em processos de Deposição Química de Vapor Aprimorada por Plasma (PECVD), este barco de grafite garante manuseio ideal de materiais e deposição uniforme de filmes finos em células solares. Projetado para precisão e durabilidade, oferece condutividade térmica superior, alta resistência à corrosão e contaminação mínima, essenciais para a produção de painéis solares eficientes e de alta qualidade.

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Detalhes do produto

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Energia EFPO transportador de grafite do processo PECVD é um consumível de alta qualidade feito sob medida para o processo PECVD (deposição química de vapor aprimorada por plasma). Este transportador de grafite é feito de material de grafite de alta pureza e alta densidade, com excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e outras características, pode fornecer uma plataforma de transporte estável para o processo PECVD, para garantir a uniformidade e planicidade do filme fino deposição.

Os portadores de grafite para o processo PECVD possuem as seguintes características:

▪ Alta pureza: baixíssimo teor de impurezas, evitando a contaminação do filme e garantindo a qualidade do filme.

▪ Alta densidade: alta densidade, alta resistência mecânica, capaz de suportar ambientes PECVD de alta temperatura e alta pressão.

▪ Boa estabilidade dimensional: pequenas alterações dimensionais em alta temperatura, garantindo estabilidade ao processo.

▪ Excelente condutividade térmica: transfere calor de forma eficaz para evitar o superaquecimento do wafer.

▪ Forte resistência à corrosão: capaz de resistir à erosão por vários gases corrosivos e plasma.

▪ Atendimento customizado: transportadores de grafite de diversos tamanhos e formatos podem ser customizados de acordo com a necessidade do cliente.

Material de grafite da SGL:

Parâmetro típico: R6510
Índice	Padrão de teste	Valor	Unidade
Tamanho médio de grão	ISO 13320	10	μm
Densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Tamanho de poro médio	DIN66133	1,8	μm
Permeabilidade	RUÍDO 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividade elétrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistência à flexão	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistência à compressão	RUÍDO 51910	130	MPa
Módulo de Young	RUÍDO 51915	11,5×10³	MPa
Expansão térmica (20-200°C)	RUÍDO 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20℃)	RUÍDO 51908	105	Wm^-1K^-1

Ele foi projetado especificamente para fabricação de células solares de alta eficiência, suportando processamento de wafer de grande porte G12. O design otimizado do transportador aumenta significativamente o rendimento, permitindo taxas de rendimento mais altas e custos de produção mais baixos.

Item	Tipo	Porta-wafer numérico
Barco PEVCD Grephite - Série 156	Barco de grafite 156-13	144
	Barco de grafite 156-19	216
	Barco de grafite 156-21	240
	Barco de grafite 156-23	308
Barco PEVCD Grephite - Série 125	Barco de grafite 125-15	196
	Barco de grafite 125-19	252
	Barco grafite 125-21	280