Barco de wafer de grafite para deposição

Breve descrição:

O barco wafer de grafite VET Energy é um consumível de alta qualidade feito sob medida para processos de deposição em indústrias de semicondutores, fotovoltaicas e outras. Feito de material de grafite de alta pureza e alta densidade, este produto tem excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e outras características, e pode fornecer uma plataforma de transporte estável para o processo de deposição para garantir a uniformidade e planicidade da deposição de filme fino .

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Detalhes do produto

Etiquetas de produto

O barco de grafite PECVD da VET Energy é fabricado com grafite isostática de alta pureza, apresentando porosidade abaixo de 15% e rugosidade superficial Ra≤1,6μm. A estabilidade dimensional superior e a condutividade térmica garantem a deposição uniforme do filme e maior eficiência celular.

Material de grafite da SGL:

Parâmetro típico: R6510
Índice	Padrão de teste	Valor	Unidade
Tamanho médio de grão	ISO 13320	10	μm
Densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Tamanho de poro médio	DIN66133	1,8	μm
Permeabilidade	RUÍDO 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividade elétrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistência à flexão	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistência à compressão	RUÍDO 51910	130	MPa
Módulo de Young	RUÍDO 51915	11,5×10³	MPa
Expansão térmica (20-200°C)	RUÍDO 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20℃)	RUÍDO 51908	105	Wm^-1K^-1

Ele foi projetado especificamente para fabricação de células solares de alta eficiência, suportando processamento de wafer de grande porte G12. O design otimizado do transportador aumenta significativamente o rendimento, permitindo taxas de rendimento mais altas e custos de produção mais baixos.

Item	Tipo	Porta-wafer numérico
Barco PEVCD Grephite - Série 156	Barco de grafite 156-13	144
	Barco de grafite 156-19	216
	Barco de grafite 156-21	240
	Barco de grafite 156-23	308
Barco PEVCD Grephite - Série 125	Barco de grafite 125-15	196
	Barco de grafite 125-19	252
	Barco grafite 125-21	280