Qual é a função do barco de grafite PECVD?

Como transportador de wafers de silício normais na produção do processo de revestimento, obarco de grafitetem muitos wafers de barco com um certo intervalo na estrutura, e há um espaço muito estreito entre dois wafers de barco adjacentes, e os wafers de silício são colocados em ambos os lados da porta vazia.

Como o grafite, o material do barco de grafite, tem boa condutividade e condutividade térmica, uma tensão CA é aplicada entre dois barcos adjacentes para formar eletrodos positivos e negativos. Quando há uma certa pressão de ar e gás na câmara, ocorre uma descarga luminosa entre os dois barcos. A descarga luminosa pode decompor os gases SiH4 e NH3 no espaço, formar íons Si e N e combinar-se para formar moléculas SiNx. É depositada na superfície da pastilha de silício para atingir o propósito de revestimento.

Como transportador de revestimento anti-reflexo de células solares, a estrutura e o tamanho do barco de grafite afetam diretamente a eficiência de conversão e a eficiência de produção do wafer de silício. Após anos de pesquisa e desenvolvimento técnico, nossa empresa agora possui equipamentos de produção avançados, designers de tecnologia maduros e equipe de produção experiente, e os materiais são matérias-primas importadas. Atualmente, o barco de grafite fabricado por nossa empresa tem as vantagens de alta eficiência. A estrutura é simples e a distância entre o barco de grafite é razoável, o que torna o revestimento do wafer de silício uniforme, melhora a qualidade do wafer de silício e faz a eficiência de conversão de energia solar é alta. A empresa Shijin possui todos os tipos de barcos de tinta que o mercado precisa agora

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Horário da postagem: 08/04/2021
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