Qual é a função do barco de grafite PECVD? | Energia EFP

Como transportador de wafers de silício normais na produção do processo de revestimento, obarco de grafitetem muitos wafers de barco com um certo intervalo na estrutura, e há um espaço muito estreito entre dois wafers de barco adjacentes, e os wafers de silício são colocados em ambos os lados da porta vazia.

Como o grafite, o material do barco de grafite, tem boa condutividade e condutividade térmica, uma tensão CA é aplicada entre dois barcos adjacentes para formar eletrodos positivos e negativos. Quando há uma certa pressão de ar e gás na câmara, ocorre uma descarga luminosa entre os dois barcos. A descarga luminosa pode decompor os gases SiH4 e NH3 no espaço, formar íons Si e N e combinar-se para formar moléculas SiNx. É depositada na superfície da pastilha de silício para atingir o propósito de revestimento.

Como transportador de revestimento anti-reflexo de células solares, a estrutura e o tamanho do barco de grafite afetam diretamente a eficiência de conversão e a eficiência de produção do wafer de silício. Após anos de pesquisa e desenvolvimento técnico, a VET Energy agora possui equipamentos de produção avançados, designers de tecnologia maduros e equipe de produção experiente, e os materiais são matérias-primas importadas. Atualmente, o barco de grafite fabricado por nossa empresa tem as vantagens de alta eficiência A estrutura é simples e a distância entre o barco de grafite é razoável, o que torna o revestimento da pastilha de silício uniforme, melhora a qualidade dobolacha de silício, e aumenta a eficiência de conversão de energia solar. A VET Energy tem todos os tipos de barcos de tinta que o mercado precisa agora.

 

Barco de grafite PECVD

Barco de grafite PECVD de alta pureza para painel solar


Horário da postagem: 08/04/2021
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