ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਸਾਈਡਵਾਲ ਕਿਉਂ ਝੁਕਦੇ ਹਨ?

ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਦੀ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰਤਾ

ਸੁੱਕਾਐਚਿੰਗਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜੋ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੌਤਿਕ ਐਚਿੰਗ ਵਿਧੀ ਹੈ। ਦੇ ਦੌਰਾਨਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, ਘਟਨਾ ਕੋਣ ਅਤੇ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਊਰਜਾ ਵੰਡ ਅਸਮਾਨ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਜੇਕਰ ਸਾਈਡਵਾਲ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਆਇਨ ਘਟਨਾ ਕੋਣ ਵੱਖਰਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਾਈਡਵਾਲ 'ਤੇ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵੀ ਵੱਖਰਾ ਹੋਵੇਗਾ। ਵੱਡੇ ਆਇਨ ਘਟਨਾ ਕੋਣਾਂ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ, ਸਾਈਡਵਾਲ 'ਤੇ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵਧੇਰੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਕਾਰਨ ਇਸ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਸਾਈਡਵਾਲ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਕੀਤੀ ਜਾਵੇਗੀ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਾਈਡਵਾਲ ਮੋੜ ਜਾਵੇਗਾ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਆਇਨ ਊਰਜਾ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਵੰਡ ਵੀ ਸਮਾਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਦਾ ਕਰੇਗੀ। ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਇਨ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਹਟਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਅਸੰਗਤ ਹੁੰਦੇ ਹਨਐਚਿੰਗਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਸਾਈਡਵਾਲ ਦੀਆਂ ਡਿਗਰੀਆਂ, ਜੋ ਬਦਲੇ ਵਿੱਚ ਸਾਈਡਵਾਲ ਨੂੰ ਝੁਕਣ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦੀਆਂ ਹਨ।

ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵ

ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਾਸਕ ਦੀ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਉਹਨਾਂ ਖੇਤਰਾਂ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਬੰਬਾਰੀ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਵੀ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਬਦਲ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਜੇਕਰ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਅਸਮਾਨ ਹੈ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਖਪਤ ਦੀ ਦਰ ਅਸੰਗਤ ਹੈ, ਜਾਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਚਕਾਰ ਅਡਜਸ਼ਨ ਵੱਖਰਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਸਾਈਡਵਾਲਾਂ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਸੁਰੱਖਿਆ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਪਤਲੇ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਜਾਂ ਕਮਜ਼ੋਰ ਅਡਿਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਅੰਡਰਲਾਈੰਗ ਸਾਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹੋਰ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਇਹਨਾਂ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਸਾਈਡਵਾਲਾਂ ਨੂੰ ਮੋੜਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਘਟਾਓਣਾ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਅੰਤਰ

ਐਚਡ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿੱਚ ਵੱਖੋ-ਵੱਖਰੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵੱਖੋ-ਵੱਖਰੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਥਿਤੀਆਂ ਅਤੇ ਡੋਪਿੰਗ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ। ਇਹ ਅੰਤਰ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਚੋਣ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਨਗੇ।
ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਕ੍ਰਿਸਟਲਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ, ਵੱਖ ਵੱਖ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦਿਸ਼ਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਸਿਲਿਕਨ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਵਿਵਸਥਾ ਵੱਖਰੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਦੇ ਨਾਲ ਉਹਨਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਸ਼ੀਲਤਾ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਵੀ ਵੱਖਰੀ ਹੋਵੇਗੀ। ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਭੌਤਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਅੰਤਰ ਦੇ ਕਾਰਨ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਐਚਿੰਗ ਦਰਾਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਸਾਈਡਵਾਲਾਂ ਦੀ ਐਚਿੰਗ ਡੂੰਘਾਈ ਨੂੰ ਅਸੰਗਤ ਬਣਾ ਦਿੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਸਾਈਡਵਾਲ ਨੂੰ ਝੁਕਣ ਵੱਲ ਲੈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

ਉਪਕਰਣ-ਸਬੰਧਤ ਕਾਰਕ

ਐਚਿੰਗ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਸਥਿਤੀ ਦਾ ਐਚਿੰਗ ਨਤੀਜਿਆਂ 'ਤੇ ਵੀ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਅਸਮਾਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵੰਡ ਅਤੇ ਅਸਮਾਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਵਿਅਰ ਵਰਗੀਆਂ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਐਚਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰ ਸਤਹ 'ਤੇ ਆਇਨ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਊਰਜਾ ਵਰਗੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਵੰਡ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦਾ ਅਸਮਾਨ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਅਤੇ ਗੈਸ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਿੱਚ ਮਾਮੂਲੀ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਵੀ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਾਈਡਵਾਲ ਝੁਕਦਾ ਹੈ।