ਭੱਠੀ ਟਿਊਬ ਉਪਕਰਨ ਦੀ ਅੰਦਰੂਨੀ ਬਣਤਰ ਨੂੰ ਵਿਸਥਾਰ ਵਿੱਚ ਦੱਸਿਆ ਗਿਆ ਹੈ

ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉੱਪਰ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਇੱਕ ਆਮ ਹੈ

ਪਹਿਲਾ ਅੱਧ:
ਹੀਟਿੰਗ ਐਲੀਮੈਂਟ (ਹੀਟਿੰਗ ਕੋਇਲ) : ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਆਲੇ-ਦੁਆਲੇ ਸਥਿਤ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਤਾਰਾਂ ਨਾਲ ਬਣੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਭੱਠੀ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰ ਨੂੰ ਗਰਮ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬ: ਇੱਕ ਗਰਮ ਆਕਸੀਕਰਨ ਭੱਠੀ ਦਾ ਕੋਰ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਦਾ ਸਾਮ੍ਹਣਾ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅੜਿੱਕਾ ਰਹਿ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਗੈਸ ਫੀਡ: ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਉੱਪਰ ਜਾਂ ਪਾਸੇ ਸਥਿਤ, ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਕਸੀਜਨ ਜਾਂ ਹੋਰ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਭੱਠੀ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
SS ਫਲੈਂਜ: ਉਹ ਹਿੱਸੇ ਜੋ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬਾਂ ਅਤੇ ਗੈਸ ਲਾਈਨਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜਦੇ ਹਨ, ਕੁਨੈਕਸ਼ਨ ਦੀ ਤੰਗੀ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
ਗੈਸ ਫੀਡ ਲਾਈਨਾਂ: ਪਾਈਪਾਂ ਜੋ ਗੈਸ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਲਈ MFC ਨੂੰ ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਪੋਰਟ ਨਾਲ ਜੋੜਦੀਆਂ ਹਨ।
MFC (ਮਾਸ ਫਲੋ ਕੰਟਰੋਲਰ) : ਇੱਕ ਯੰਤਰ ਜੋ ਲੋੜੀਂਦੀ ਗੈਸ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤ੍ਰਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰ ਗੈਸ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਵੈਂਟ: ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰ ਤੋਂ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਬਾਹਰ ਤੱਕ ਨਿਕਾਸ ਗੈਸ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਹੇਠਲਾ ਹਿੱਸਾ
ਹੋਲਡਰ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ: ਆਕਸੀਕਰਨ ਦੌਰਾਨ ਇੱਕਸਾਰ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਹੋਲਡਰ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਵੇਫਰ ਹੋਲਡਰ: ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਰੱਖਣ ਅਤੇ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਸਥਿਰ ਰਹੇ।
ਪੈਡਸਟਲ: ਇੱਕ ਢਾਂਚਾ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਹੋਲਡਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਰੋਧਕ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਐਲੀਵੇਟਰ: ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਲੋਡਿੰਗ ਅਤੇ ਅਨਲੋਡਿੰਗ ਲਈ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਅਤੇ ਬਾਹਰ ਵੇਫਰ ਧਾਰਕਾਂ ਨੂੰ ਚੁੱਕਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਰੋਬੋਟ: ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਡਿਵਾਈਸ ਦੇ ਸਾਈਡ 'ਤੇ ਸਥਿਤ, ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਪਣੇ ਆਪ ਹੀ ਬਾਕਸ ਤੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਅਤੇ ਇਸ ਨੂੰ ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਰੱਖਣ, ਜਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਕੈਸੇਟ ਸਟੋਰੇਜ ਕੈਰੋਜ਼ਲ: ਕੈਸੇਟ ਸਟੋਰੇਜ ਕੈਰੋਜ਼ਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਵਾਲੇ ਬਾਕਸ ਨੂੰ ਸਟੋਰ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਰੋਬੋਟ ਪਹੁੰਚ ਲਈ ਘੁੰਮਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ: ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਨੂੰ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸਟੋਰ ਕਰਨ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।