ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (ਸੀਵੀਡੀ) ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀ ਜਾਣ-ਪਛਾਣ

ਕੈਮੀਕਲ ਵੈਪਰ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (ਸੀਵੀਡੀ) ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ, ਜੋ ਅਕਸਰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਫਿਲਮਾਂ ਅਤੇ ਪਤਲੀ-ਪਰਤ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਅਤੇ ਹੋਰ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

1. ਸੀਵੀਡੀ ਦਾ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ

CVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਗੈਸ ਪੂਰਵਗਾਮੀ (ਇੱਕ ਜਾਂ ਇੱਕ ਤੋਂ ਵੱਧ ਗੈਸੀ ਪੂਰਵ ਸੰਯੁਕਤ ਮਿਸ਼ਰਣ) ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਲਿਆਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕ ਖਾਸ ਤਾਪਮਾਨ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਇੱਕ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਪੈਦਾ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕੇ ਅਤੇ ਲੋੜੀਂਦੀ ਫਿਲਮ ਜਾਂ ਕੋਟਿੰਗ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋ ਸਕੇ। ਪਰਤ ਇਸ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦਾ ਉਤਪਾਦ ਇੱਕ ਠੋਸ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲੋੜੀਂਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਣ। ਜੇਕਰ ਅਸੀਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਕਿਸੇ ਸਤਹ 'ਤੇ ਚਿਪਕਣਾ ਚਾਹੁੰਦੇ ਹਾਂ, ਤਾਂ ਅਸੀਂ ਟ੍ਰਾਈਕਲੋਰੋਸੀਲੇਨ (SiHCl3) ਨੂੰ ਪੂਰਵ-ਸੂਚਕ ਗੈਸ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤ ਸਕਦੇ ਹਾਂ: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਿਸੇ ਵੀ ਖੁੱਲ੍ਹੀ ਸਤਹ (ਅੰਦਰੂਨੀ ਅਤੇ ਬਾਹਰੀ ਦੋਵੇਂ) ਨਾਲ ਜੁੜ ਜਾਵੇਗਾ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਕਲੋਰੀਨ ਅਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਕਲੋਰਿਕ ਐਸਿਡ ਗੈਸਾਂ ਚੈਂਬਰ ਤੋਂ ਛੁੱਟੀ ਦਿੱਤੀ ਜਾਵੇ।

2. ਸੀਵੀਡੀ ਵਰਗੀਕਰਨ

ਥਰਮਲ ਸੀਵੀਡੀ: ਪੂਰਵ-ਸੂਚਕ ਗੈਸ ਨੂੰ ਗਰਮ ਕਰਕੇ ਇਸਨੂੰ ਘਟਾਓ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ ਸੀਵੀਡੀ (ਪੀਈਸੀਵੀਡੀ): ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੀ ਦਰ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਥਰਮਲ ਸੀਵੀਡੀ ਵਿੱਚ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਧਾਤੂ ਜੈਵਿਕ CVD (MOCVD): ਧਾਤੂ ਜੈਵਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਵ-ਗਾਇਕ ਗੈਸਾਂ ਵਜੋਂ ਵਰਤ ਕੇ, ਧਾਤਾਂ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਦੀਆਂ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਅਕਸਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ LEDs ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ।

3. ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ

(1) ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ

ਸਿਲੀਸਾਈਡ ਫਿਲਮ: ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ ਲੇਅਰਾਂ, ਸਬਸਟਰੇਟਸ, ਆਈਸੋਲੇਸ਼ਨ ਲੇਅਰਾਂ, ਆਦਿ ਨੂੰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਫਿਲਮ: ਸਿਲਿਕਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ, ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ, ਆਦਿ ਨੂੰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਐਲਈਡੀ, ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ, ਆਦਿ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਧਾਤੂ ਫਿਲਮ: ਸੰਚਾਲਕ ਪਰਤਾਂ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਧਾਤੂ ਪਰਤਾਂ, ਆਦਿ

(2) ਡਿਸਪਲੇ ਤਕਨਾਲੋਜੀ

ਆਈਟੀਓ ਫਿਲਮ: ਪਾਰਦਰਸ਼ੀ ਕੰਡਕਟਿਵ ਆਕਸਾਈਡ ਫਿਲਮ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਫਲੈਟ ਪੈਨਲ ਡਿਸਪਲੇਅ ਅਤੇ ਟੱਚ ਸਕ੍ਰੀਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਕਾਪਰ ਫਿਲਮ: ਡਿਸਪਲੇ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਲੇਅਰਾਂ, ਸੰਚਾਲਕ ਲਾਈਨਾਂ ਆਦਿ ਨੂੰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

(3) ਹੋਰ ਖੇਤਰ

ਆਪਟੀਕਲ ਕੋਟਿੰਗ: ਐਂਟੀ-ਰਿਫਲੈਕਟਿਵ ਕੋਟਿੰਗਸ, ਆਪਟੀਕਲ ਫਿਲਟਰ, ਆਦਿ ਸਮੇਤ। ਐਂਟੀ-ਕਰੋਜ਼ਨ ਕੋਟਿੰਗ: ਆਟੋਮੋਟਿਵ ਪਾਰਟਸ, ਏਰੋਸਪੇਸ ਡਿਵਾਈਸਾਂ, ਆਦਿ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

4. ਸੀਵੀਡੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ

ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੀ ਗਤੀ ਨੂੰ ਉਤਸ਼ਾਹਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਤਾਵਰਨ ਵਿੱਚ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪੇਂਟਿੰਗ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਹਿੱਸੇ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਹਟਾ ਦੇਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਉਹਨਾਂ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ 'ਤੇ ਸੀਮਾਵਾਂ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਕੋਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਸੀਮਾਵਾਂ ਜਾਂ ਰੀਐਕਟੀਵਿਟੀ ਸੀਮਾਵਾਂ। ਸੀਵੀਡੀ ਕੋਟਿੰਗ ਹਿੱਸੇ ਦੇ ਸਾਰੇ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਕਵਰ ਕਰੇਗੀ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਧਾਗੇ, ਅੰਨ੍ਹੇ ਛੇਕ ਅਤੇ ਅੰਦਰੂਨੀ ਸਤ੍ਹਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਖਾਸ ਟੀਚੇ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਮਾਸਕ ਕਰਨ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਸੀਮਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਪਦਾਰਥਕ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੁਆਰਾ ਸੀਮਿਤ ਹੈ। ਉੱਤਮ ਚਿਪਕਣ.