Som bærer av normale silisiumskiver i produksjonen av belegningsprosessen, er dengrafitt båthar mange båtwafere med et visst intervall i strukturen, og det er et veldig smalt mellomrom mellom to tilstøtende båtwafere, og silisiumwafere er plassert på begge sider av den tomme døren.
Fordi grafitt, materialet i grafittbåten, har god ledningsevne og termisk ledningsevne, påføres en vekselspenning mellom to tilstøtende båter for å danne positive og negative elektroder. Når det er et visst lufttrykk og gass i kammeret, oppstår det et glødeutslipp mellom de to båtene. Glødeutslippet kan bryte ned SiH4- og NH3-gass i rommet, danne Si- og N-ioner og kombineres for å danne SiNx-molekyler. Den avsettes på overflaten av silisiumplate for å oppnå formålet med belegg.
Som en bærer av solcelle antirefleksjonsbelegg, påvirker strukturen og størrelsen på grafittbåten direkte konverteringseffektiviteten og produksjonseffektiviteten til silisiumskiven. Etter år med teknisk forskning og utvikling har VET Energy nå avansert produksjonsutstyr, modne teknologidesignere og erfarne produksjonsmedarbeidere, og materialene er importerte råvarer. For tiden har grafittbåten produsert av vårt selskap fordelene med høy effektivitet. Strukturen er enkel og avstanden mellom grafittbåten er rimelig, noe som gjør belegget på silisiumplaten jevn, forbedrer kvaliteten påsilisium wafer, og gjør solenergikonverteringseffektiviteten høy. VET Energy har alle slags blekkbåter som markedet trenger nå.
PECVD-grafittbåt med høy renhet for solcellepanel
Innleggstid: Apr-08-2021