Silisiumkarbid (SiC) er et slags keramisk materiale med stort brukspotensial, som har utmerket varmeledningsevne, kjemisk stabilitet og høy temperaturbestandighet.For ytterligere å forbedre ytelsen og anvendelsesområdet for silisiumkarbid, har kjemisk dampavsetning (CVD) teknologi blitt en viktig metode for å forberede silisiumkarbidbelegg.
Silisiumkarbid-CVD-belegget kan danne et jevnt og tett beskyttende lag på ulike underlag, og har en rekke overlegne egenskaper.For det første har silisiumkarbidbelegget ekstremt høy hardhet og slitestyrke, som effektivt kan motstå slitasje og riper og beskytte underlaget mot slitasje og korrosjon.For det andre har silisiumkarbidbelegget utmerket motstand mot høye temperaturer og kan fortsatt opprettholde høy mekanisk styrke og kjemisk stabilitet under høytemperaturmiljø.Dette gjør CVD-belegg av silisiumkarbid mye brukt i romfart, energi, kjemiske og andre felt, for eksempel for belegg av innervegg i forbrenningskammer, høytemperaturgasssensorer og høytemperaturelektroniske enheter.
I tillegg har silisiumkarbidbelegget også utmerket varmeledningsevne og elektriske isolasjonsegenskaper.Termisk ledningsevne refererer til et materiales evne til å lede varme, og den høye termiske ledningsevnen til silisiumkarbid CVD-belegg gjør dem ideelle for termiske styringsapplikasjoner, som for radiatorer og varmerør.Elektrisk isolasjon refererer til isolasjonsytelsen til materialet til strømmen, og den gode elektriske isolasjonen av silisiumkarbidbelegg gjør det mye brukt i elektroniske enheter, for eksempel høyspenningsisolasjonslag og elektronisk emballasje.
Ved fremstilling av CVD-belegg av silisiumkarbid inkluderer vanlige forløpergasser silisiumkilder og karbonkilder som metan og silan.Disse gassene danner et tynt lag av silisiumkarbid på overflaten av substratet gjennom CVD-reaksjonen.Ved å justere reaksjonsbetingelsene, som temperatur, lufttrykk og gassstrøm, kan tykkelsen, morfologien og egenskapene til belegget kontrolleres.
Oppsummert har silisiumkarbid CVD-belegget en rekke overlegne egenskaper, inkludert høy hardhet, slitestyrke, høy temperaturmotstand, termisk ledningsevne og elektrisk isolasjon.Disse egenskapene gjør at silisiumkarbidbelegg har et bredt spekter av bruksområder innen mange felt, inkludert romfart, energi, kjemisk og elektronikk.Med kontinuerlig utvikling og forbedring av CVD-teknologi vil ytelsen til silisiumkarbidbelegg bli ytterligere forbedret, noe som gir flere muligheter for flere bruksområder på flere felt.
Innleggstid: 18. desember 2023