Grafittbærer for PECVD-prosess

Kort beskrivelse:

VET EnergiPECVD Graphite Boat for Solar Panel er en avansert komponent designet spesielt for produksjon av høyytelses solcellepaneler. Brukt i PECVD-prosesser (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), sikrer denne grafittbåten optimal materialhåndtering og jevn avsetning av tynne filmer på solceller. Konstruert for presisjon og holdbarhet, gir den overlegen varmeledningsevne, høy korrosjonsmotstand og minimal forurensning, noe som er avgjørende for produksjon av effektive solcellepaneler av høy kvalitet.

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

VET EnergiPECVD prosess grafittbærer er en høykvalitets forbruksvarer skreddersydd for PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) prosess. Denne grafittbæreren er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, med utmerket høytemperaturmotstand, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper, kan gi en stabil bærerplattform for PECVD-prosessen, for å sikre jevnheten og flatheten til tynn film avsetning.

Grafittbærere for PECVD-prosessen har følgende egenskaper:

▪ Høy renhet: ekstremt lavt innhold av urenheter, unngår forurensning av filmen og sikrer filmkvalitet.

▪ Høy tetthet: høy tetthet, høy mekanisk styrke, i stand til å motstå høy temperatur og høyt trykk PECVD-miljø.

▪ God dimensjonsstabilitet: liten dimensjonsendring ved høy temperatur, som sikrer prosessstabilitet.

▪ Utmerket termisk ledningsevne: overfører effektivt varme for å forhindre overoppheting av wafer.

▪ Sterk korrosjonsbestandighet: i stand til å motstå erosjon fra ulike etsende gasser og plasma.

▪ Tilpasset service: grafittbærere i forskjellige størrelser og former kan tilpasses etter kundens behov.

Grafittmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510
Indeks	Test standard	Verdi	Enhet
Gjennomsnittlig kornstørrelse	ISO 13320	10	μm
Bulk tetthet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Åpen porøsitet	DIN66133	10	%
Middels porestørrelse	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hardhet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifikk elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bøyestyrke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Trykkstyrke	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk ekspansjon (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termisk ledningsevne (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den er spesielt designet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter G12-wafer-behandling i stor størrelse. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.

Punkt	Type	Nummer waferholder
PEVCD Grephite-båt - 156-serien	156-13 grepittbåt	144
	156-19 grepittbåt	216
	156-21 grepittbåt	240
	156-23 grafittbåt	308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien	125-15 grepittbåt	196
	125-19 grepittbåt	252
	125-21 grphitbåt	280