VET EnergiPECVD grafittbåt for solceller er et kjerneforbruksmateriell designet for PECVD-prosessen (plasma enhanced chemical vapor deposition) av solceller. Grafittbåten er laget av isostatisk grafitt med høy renhet med en porøsitet på mindre enn 15 % og en overflateruhet på Ra≤1,6μm. Den har utmerkede egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet og dimensjonsstabilitet. Utmerket dimensjonsstabilitet og termisk ledningsevne sikrer jevn filmavsetning og forbedrer batterieffektiviteten. Det kan gi en stabil bærer i et PECVD-miljø med høy temperatur og høyt trykk for å sikre jevn avsetning og høy kvalitet på solcellefilmer.
Grafittmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Test standard | Verdi | Enhet |
| Gjennomsnittlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulk tetthet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Åpen porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Middels porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hardhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifikk elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøyestyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykkstyrke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk ekspansjon (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Termisk ledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er spesielt designet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter G12-wafer-behandling i stor størrelse. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.
| Punkt | Type | Nummer waferholder |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepittbåt | 144 |
| 156-19 grepittbåt | 216 | |
| 156-21 grepittbåt | 240 | |
| 156-23 grafittbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grepittbåt | 196 |
| 125-19 grepittbåt | 252 | |
| 125-21 grphitbåt | 280 |
