Grafitt wafer båt for deponering

Kort beskrivelse:

VET Energy graphite wafer boat er et forbruksmateriell av høy kvalitet skreddersydd for avsetningsprosesser i halvleder-, solcelle- og andre industrier. Dette produktet er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, og har utmerket høytemperaturmotstand, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper, og kan gi en stabil bærerplattform for avsetningsprosessen for å sikre jevnhet og flathet av tynnfilmavsetning .


Produktdetaljer

Produktetiketter

VET Energy graphite wafer boat er et forbruksmateriell av høy kvalitet skreddersydd for avsetningsprosesser i halvleder-, solcelle- og andre industrier. Dette produktet er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, og har utmerket høytemperaturmotstand, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper, og kan gi en stabil bærerplattform for avsetningsprosessen for å sikre jevnhet og flathet av tynnfilmavsetning .

PECVD-grafittbåten fra VET Energy er produsert med isostatisk grafitt med høy renhet, med porøsitet under 15 % og overflateruhet Ra≤1,6μm. Den overlegne dimensjonsstabiliteten og varmeledningsevnen sikrer jevn filmavsetning og forbedret celleeffektivitet.

Grafittmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510

Indeks Test standard Verdi Enhet
Gjennomsnittlig kornstørrelse ISO 13320 10 μm
Bulk tetthet DIN IEC 60413/204 1,83 g/cm3
Åpen porøsitet DIN66133 10 %
Middels porestørrelse DIN66133 1.8 μm
Permeabilitet DIN 51935 0,06 cm²/s
Rockwell hardhet HR5/100 DIN IEC60413/303 90 HR
Spesifikk elektrisk resistivitet DIN IEC 60413/402 13 μΩm
Bøyestyrke DIN IEC 60413/501 60 MPa
Trykkstyrke DIN 51910 130 MPa
Youngs modul DIN 51915 11,5×10³ MPa
Termisk ekspansjon (20-200 ℃) DIN 51909 4,2X10-6 K-1
Termisk ledningsevne (20 ℃) DIN 51908 105 Wm-1K-1

Den er spesielt designet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter G12-wafer-behandling i stor størrelse. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.

grafitt båt
Punkt Type Nummer waferholder
PEVCD Grephite-båt - 156-serien 156-13 grepittbåt 144
156-19 grepittbåt 216
156-21 grepittbåt 240
156-23 grafittbåt 308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien 125-15 grepittbåt 196
125-19 grepittbåt 252
125-21 grphitbåt 280
Produktfordeler
Bedriftskunder

  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!