VET Energy graphite wafer boat er et forbruksmateriell av høy kvalitet skreddersydd for avsetningsprosesser i halvleder-, solcelle- og andre industrier. Dette produktet er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, og har utmerket høytemperaturmotstand, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper, og kan gi en stabil bærerplattform for avsetningsprosessen for å sikre jevnhet og flathet av tynnfilmavsetning .
PECVD-grafittbåten fra VET Energy er produsert med isostatisk grafitt med høy renhet, med porøsitet under 15 % og overflateruhet Ra≤1,6μm. Den overlegne dimensjonsstabiliteten og varmeledningsevnen sikrer jevn filmavsetning og forbedret celleeffektivitet.
Grafittmateriale fra SGL:
Typisk parameter: R6510 | |||
Indeks | Test standard | Verdi | Enhet |
Gjennomsnittlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | μm |
Bulk tetthet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Åpen porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
Middels porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rockwell hardhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Spesifikk elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Bøyestyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Trykkstyrke | DIN 51910 | 130 | MPa |
Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Termisk ekspansjon (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Termisk ledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er spesielt designet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter G12-wafer-behandling i stor størrelse. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.
Punkt | Type | Nummer waferholder |
PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepittbåt | 144 |
156-19 grepittbåt | 216 | |
156-21 grepittbåt | 240 | |
156-23 grafittbåt | 308 | |
PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grepittbåt | 196 |
125-19 grepittbåt | 252 | |
125-21 grphitbåt | 280 |