Korrosjonsbestandig silisiumkarbidbelagt bærebrett

Kort beskrivelse:

VET Energy Silicon Carbide Coated Carrier Tray er et høyytelsesprodukt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet, erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.

 

 

 


Produktdetaljer

Produktetiketter

SiC-induktorer1
SiC-induktorer2

Silisiumkarbidbærebrettis a nøkkelkomponent som brukes i ulike halvlederproduksjonsprosesser.Vi bruker vår patenterte teknologi til å lage silisiumkarbidbæreren medekstremt høy renhet,godbeleggensartethetog en utmerket levetid, samthøy kjemisk motstand og termiske stabilitetsegenskaper.

VET Energy er deekte produsent av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med CVD-belegg,kan leverediversetilpassede deler for halvleder- og solcelleindustrien. Oditt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer,oghar utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.

Features av våre produkter:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opp til 1700.
2. Høy renhet ogtermisk ensartethet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

晶体结构 / Krystallstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tetthet

3,21 g/cm³

硬度 / Hardhet

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10μm

纯度 / Kjemisk renhet

99,99995 %

热容 / Varmekapasitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøyestyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKonduktivitet

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!