Tantalkarbidbelagt susceptor for wafer

Kort beskrivelse:

VET Energy Tantalkarbidbelagt susceptor for wafer er et høyytelsesprodukt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet, erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.


Produktdetaljer

Produktetiketter

TaC-belegg er et slags tantalkarbid (TaC) belegg utarbeidet av fysisk dampavsetningsteknologi, det har følgende egenskaper:

1. Høy hardhet: TaC-beleggets hardhet er høy, kan vanligvis nå 2500-3000HV, er et utmerket hardt belegg.

2. Slitasjemotstand: TaC-belegg er svært slitesterk, noe som effektivt kan redusere slitasje og skade på mekaniske deler under bruk.

3. God motstand mot høye temperaturer: TaC-belegg kan også opprettholde sin utmerkede ytelse under høytemperaturmiljø.

4. God kjemisk stabilitet: TaC-belegg har god kjemisk stabilitet og kan motstå mange kjemiske reaksjoner, som syrer og baser.

6 (3)
Tantalkarbid CVD-belegg EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysiske egenskaper til TaC belegg

密度/ Tetthet

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spesifikk emissivitet

0,3

热膨胀系数 / Termisk ekspansjonskoeffisient

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Hardhet (HK)

2000 HK

电阻 / Motstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termisk stabilitet

<2500℃

石墨尺寸变化 / Grafittstørrelsen endres

-10~-20um

涂层厚度 / Beleggtykkelse

≥20um typisk verdi (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på produksjon og salg av avanserte materialer, materialer og teknologi som dekker grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling og så videre. Produktene er mye brukt i solceller, halvledere, ny energi, metallurgi, etc..

Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsninger for deg.

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!