coating လုပ်ငန်းစဉ်တွင် သာမာန် ဆီလီကွန် wafer များ၏ သယ်ဆောင်သူအဖြစ်၊ဖိုက်တာလှေဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံတွင် တိကျသောအချိန်အပိုင်းအခြားတစ်ခုရှိသည့် လှေပြားများစွာရှိပြီး ကပ်လျက်လှေ wafers နှစ်ခုကြားတွင် အလွန်ကျဉ်းမြောင်းသောနေရာတစ်ခု ရှိပြီး ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို တံခါးဗလာ၏ တစ်ဖက်တစ်ချက်စီတွင် ထားရှိထားပါသည်။
ဂရပ်ဖိုက်၊ ဂရပ်ဖိုက်လှေ၏ပစ္စည်းသည် ကောင်းသောလျှပ်ကူးမှုနှင့် အပူကူးယူနိုင်စွမ်းရှိသောကြောင့်၊ ကပ်လျက်လှေနှစ်စင်းကြားတွင် AC ဗို့အားကို အပြုသဘောနှင့် အနုတ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖြစ် ဖန်တီးသည်။ အခန်းထဲရှိ လေဖိအားနှင့် ဓာတ်ငွေ့အချို့ရှိသောအခါ၊ လှေနှစ်စင်းကြားတွင် တောက်ပသော ထွက်ပေါက်တစ်ခု ဖြစ်ပေါ်သည်။ အလင်းထုတ်လွှတ်မှုသည် အာကာသအတွင်း SiH4 နှင့် NH3 ဓာတ်ငွေ့ကို ပြိုကွဲစေပြီး Si နှင့် N အိုင်းယွန်းများအဖြစ် ပေါင်းစပ်ကာ SiNx မော်လီကျူးများအဖြစ် ပေါင်းစပ်ကာ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ဖုံးအုပ်ထားခြင်းဖြစ်သည်။
ဆိုလာဆဲလ်မှ ရောင်ပြန်ဟပ်မှုအလွှာ၏ သယ်ဆောင်သူအနေဖြင့်၊ ဂရပ်ဖိုက်လှေ၏ တည်ဆောက်ပုံနှင့် အရွယ်အစားသည် ဆီလီကွန် wafer ၏ ပြောင်းလဲခြင်းထိရောက်မှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ နှစ်ပေါင်းများစွာ နည်းပညာဆိုင်ရာ သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုပြီးနောက်၊ ယခုအခါတွင် VET Energy သည် အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်ရေးပစ္စည်းများ၊ ရင့်ကျက်သောနည်းပညာဒီဇိုင်နာများနှင့် အတွေ့အကြုံရှိသော ထုတ်လုပ်ရေးဝန်ထမ်းများကို ပိုင်ဆိုင်ထားပြီး ပစ္စည်းများမှာ ကုန်ကြမ်းပစ္စည်းများကို တင်သွင်းလာခြင်းဖြစ်သည်။ လက်ရှိတွင် ကျွန်ုပ်တို့ကုမ္ပဏီမှ ထုတ်လုပ်သော ဂရပ်ဖိုက်လှေများသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော အားသာချက်များ ရှိပြီး ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံမှာ ရိုးရှင်းပြီး ဂရပ်ဖိုက်လှေများကြား အကွာအဝေးသည် ကျိုးကြောင်းဆီလျော်သောကြောင့် ဆီလီကွန် wafer ယူနီဖောင်း၏ အပေါ်ယံပိုင်း၏ အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ဆီလီကွန် waferနှင့် နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်ကူးပြောင်းမှု ထိရောက်မှုကို မြင့်မားစေသည်။ VET Energy သည် ယခုအခါ ဈေးကွက်တွင် လိုအပ်နေသော မှင်လှေ အမျိုးအစားများ ရှိပါသည်။
ဆိုလာပြားအတွက် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု PECVD Graphite လှေ
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ 08-2021