coating လုပ်ငန်းစဉ်တွင် သာမာန် ဆီလီကွန် wafer များ၏ သယ်ဆောင်သူအဖြစ်၊ဖိုက်တာလှေဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံတွင် တိကျသောအကွာအဝေးတစ်ခုရှိသည့် လှေပြားများစွာရှိပြီး၊ ကပ်လျက်လှေ wafers နှစ်ခုကြားတွင် အလွန်ကျဉ်းမြောင်းသောနေရာတစ်ခု ရှိပြီး ဆီလီကွန် wafer များကို တံခါးအလွတ်၏ နှစ်ဖက်စလုံးတွင် ထားရှိထားပါသည်။
ဂရပ်ဖိုက်၊ ဂရပ်ဖိုက်လှေ၏ပစ္စည်းသည် ကောင်းသောလျှပ်ကူးမှုနှင့် အပူကူးယူနိုင်စွမ်းရှိသောကြောင့်၊ ကပ်လျက်လှေနှစ်စင်းကြားတွင် AC ဗို့အားကို အပြုသဘောနှင့် အနုတ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖြစ် ဖန်တီးသည်။ အခန်းထဲရှိ လေဖိအားနှင့် ဓာတ်ငွေ့အချို့ရှိသောအခါ၊ လှေနှစ်စင်းကြားတွင် တောက်ပသော ထွက်ပေါက်တစ်ခု ဖြစ်ပေါ်သည်။ အလင်းထုတ်လွှတ်မှုသည် အာကာသအတွင်း SiH4 နှင့် NH3 ဓာတ်ငွေ့ကို ပြိုကွဲစေပြီး Si နှင့် N အိုင်းယွန်းများအဖြစ် ပေါင်းစပ်ကာ SiNx မော်လီကျူးများအဖြစ် ပေါင်းစပ်ကာ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ဖုံးအုပ်ထားခြင်းဖြစ်သည်။
ဆိုလာဆဲလ်မှ ရောင်ပြန်ဟပ်မှုအလွှာ၏ သယ်ဆောင်သူအနေဖြင့်၊ ဂရပ်ဖိုက်လှေ၏ တည်ဆောက်ပုံနှင့် အရွယ်အစားသည် ဆီလီကွန် wafer ၏ ပြောင်းလဲခြင်းထိရောက်မှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ နှစ်ပေါင်းများစွာ နည်းပညာဆိုင်ရာ သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုပြီးနောက်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ကုမ္ပဏီသည် ယခုအခါ အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်ရေးကိရိယာများ၊ ရင့်ကျက်သောနည်းပညာဒီဇိုင်နာများနှင့် အတွေ့အကြုံရှိသော ထုတ်လုပ်ရေးဝန်ထမ်းများရှိပြီး၊ ပစ္စည်းများသည် တင်သွင်းလာသော ကုန်ကြမ်းများဖြစ်သည်။ လက်ရှိတွင် ကျွန်ုပ်တို့ကုမ္ပဏီမှ ထုတ်လုပ်သော ဂရပ်ဖိုက်လှေသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော အားသာချက်များ ရှိပြီး ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံသည် ရိုးရှင်းပြီး ဂရပ်ဖိုက်လှေများကြား အကွာအဝေးသည် ကျိုးကြောင်းဆီလျော်မှုရှိသောကြောင့် ဆီလီကွန် wafer ယူနီဖောင်း၏ အပေါ်ယံလွှာကို ဖြစ်စေကာ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပြီး၊ နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်ကူးပြောင်းမှု ထိရောက်မှုမြင့်မားသည်။ Shijin ကုမ္ပဏီသည် ယခုစျေးကွက်တွင် လိုအပ်နေသော မှင်လှေ အမျိုးမျိုးရှိသည်။
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ 08-2021