မီးဖိုချောင်သုံး ပစ္စည်းများ၏ အတွင်းပိုင်း ဖွဲ့စည်းပုံကို အသေးစိတ် ရှင်းပြထားသည်။

အပေါ်မှာပြထားတဲ့အတိုင်း ပုံမှန်ပါပဲ။

ပထမပိုင်း-
Heating Element (အပူပေးကွိုင်) : အများအားဖြင့် ခံနိုင်ရည်ရှိသော ဝါယာကြိုးများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော မီးဖိုပြွန်ပတ်ပတ်လည်တွင် တည်ရှိပြီး မီးဖိုပြွန်အတွင်းပိုင်းကို အပူပေးရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
Quartz Tube- အပူချိန်မြင့်မြင့်မှုကိုခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒနည်းအရ အားနည်းနေနိုင်သည့် သန့်စင်မြင့်မားသော quartz ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည့် ပူပြင်းသောဓာတ်တိုးမီးဖို၏အူတိုင်။
ဓာတ်ငွေ့အစာ- မီးဖိုပြွန်၏အပေါ်ဘက် သို့မဟုတ် ဘေးဘက်တွင်ရှိသော အောက်ဆီဂျင် သို့မဟုတ် အခြားဓာတ်ငွေ့များကို မီးဖိုပြွန်အတွင်းပိုင်းသို့ ပို့ဆောင်ရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
SS Flange- ကွန်နက်ရှင်၏ တင်းကျပ်မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသော quartz ပြွန်များနှင့် ဓာတ်ငွေ့လိုင်းများကို ချိတ်ဆက်ပေးသည့် အစိတ်အပိုင်းများ။
Gas Feed Lines- MFC ကို ဓာတ်ငွေ့ ပို့လွှတ်ရန်အတွက် ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့ရေး ဆိပ်ကမ်းသို့ ချိတ်ဆက်သော ပိုက်များ။
MFC (Mass Flow Controller) : လိုအပ်သောဓာတ်ငွေ့ပမာဏကို တိကျစွာထိန်းညှိရန် quartz ပြွန်အတွင်း ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကို ထိန်းချုပ်သည့်ကိရိယာ။
လေဝင်လေထွက်- မီးဖိုပြွန်အတွင်းမှ အိတ်ဇောဓာတ်ငွေ့ကို စက်ပစ္စည်း၏ အပြင်ဘက်သို့ စွန့်ထုတ်ရန် အသုံးပြုသည်။

အောက်ပိုင်း
ကိုင်ဆောင်ထားသည့် Silicon Wafers- စီလီကွန် wafers များသည် ဓာတ်တိုးနေစဉ်အတွင်း တူညီသောအပူရှိစေရန်အတွက် အထူး Holder တွင် ထားရှိထားပါသည်။
Wafer Holder - ဆီလီကွန် wafer ကို ကိုင်ဆောင်ရန် အသုံးပြုပြီး လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဆီလီကွန် wafer တည်ငြိမ်ကြောင်း သေချာစေရန် အသုံးပြုပါသည်။
Pedestal- အများအားဖြင့် မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည့် ဆီလီကွန် wafer Holder ကို ကိုင်ဆောင်ထားသည့် ဖွဲ့စည်းပုံ။
ဓာတ်လှေကား- ဆီလီကွန် wafer များကို အလိုအလျောက် တင်ခြင်းနှင့် ဖယ်ရှားခြင်းအတွက် Wafer ကိုင်ဆောင်သူများကို quartz ပြွန်များအတွင်းနှင့် အပြင်သို့ သယ်ဆောင်ရန် အသုံးပြုသည်။
Wafer Transfer Robot - မီးဖိုပြွန်စက်၏ဘေးတွင်ရှိသော၊ ၎င်းကို ဆီလီကွန် wafer သေတ္တာမှ အလိုအလျောက်ဖယ်ရှားပြီး မီးဖိုပြွန်အတွင်းထည့်ရန် သို့မဟုတ် လုပ်ဆောင်ပြီးနောက် ၎င်းကိုဖယ်ရှားရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
ကက်ဆက်သိုလှောင်မှုအဝိုင်း- ကက်ဆက်သိုလှောင်မှုအဝိုင်းကို ဆီလီကွန်ဝေဖာများပါရှိသော သေတ္တာကို သိမ်းဆည်းရန် အသုံးပြုပြီး စက်ရုပ်အသုံးပြုခွင့်အတွက် လှည့်နိုင်သည်။
Wafer ကက်ဆက်- wafer ကက်ဆက်ကို စီလီကွန် wafer များကို သိမ်းဆည်းရန်နှင့် လွှဲပြောင်းရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။